用途：
測(cè)量型金相顯微鏡是一種兼顧影像與目視兩用的高精度、高效率測(cè)量?jī)x器。它具有電視成像與目視光學(xué)兩套瞄準(zhǔn)系統(tǒng)，是集光、機(jī)、電、算、影像于一體的測(cè)量型金相顯微鏡。該儀器廣泛用于電子組件、精密模具、精密刀具、塑料、PCB加工等方面，不僅可用作坐標(biāo)測(cè)量，還可以目鏡標(biāo)準(zhǔn)分劃板作顯微放大比較測(cè)量，測(cè)量螺紋的節(jié)距、外徑、牙角等工件尺寸或外形輪廓，ACF導(dǎo)電粒子形狀和瑕疵觀察，除應(yīng)用于長(zhǎng)度、角度測(cè)量外，還可作為觀察顯微鏡。是機(jī)械、電子、儀表、鐘表、輕工、塑料行業(yè)，院校、研究所和計(jì)量檢定部門的計(jì)量室、實(shí)驗(yàn)室已經(jīng)生產(chǎn)車間的計(jì)量檢測(cè)設(shè)備之一。
特點(diǎn)：
1. X、Y、Z三軸0.5μm分辨力
2. 具Z軸粗調(diào)/微調(diào)旋鈕
3. 同軸表面光/底光量測(cè)
4. 內(nèi)置偏光量測(cè)光學(xué)模塊
5. 可量測(cè)透明材質(zhì)納米級(jí)高度差
6. 可選配白光納米檢測(cè)模組
技術(shù)規(guī)格參數(shù)：| 型號(hào) | MTM-1510M | MTM-2010M | |
| 工作臺(tái) | 金屬臺(tái)尺寸(mm) | 210 x 160 | 260 x 160 |
| 玻璃臺(tái)尺寸(mm) | 354 x 228 | 404 x 228 | |
| X、Y軸運(yùn)動(dòng)行程(mm) | 150 x 100 | 200 x 100 | |
| Z軸行程(mm) | 120 | 120 | |
| 外形尺寸(mm) | 590 x 530 x 850 | 590 x 575 x 850 | |
| 儀器重量(kg) | 100 | 110 | |
| X、Y、Z軸分辨力(μm) | 0.5 | ||
| 示值誤差(μm) | E1XY=( 2.5+ L/100) μm (L為測(cè)量長(zhǎng)度，單位mm) | ||
| 物鏡放大倍數(shù)誤差 | 包括畸變?cè)趦?nèi)的放大率誤差≦0.08% | ||
| 落射照明光源 | 可調(diào)高亮度鹵素?zé)?/strong> | ||
| 底光照明光源 | 可調(diào)高亮度LED燈源 | ||
| 目視系統(tǒng) | 影像系統(tǒng) | ||
| 物鏡放大倍數(shù) | 5X、10X、20X、50X | 5X、10X、20X、50X；10X Mirau物鏡 | |
| 目鏡放大倍數(shù) | 10X雙鏡筒 | 1/2”CCD攝像機(jī) | |
| 視頻總倍率 | 50X ~500X | 142.5X ~1425X (19.5”顯示器，分辨率1440 x 900) | |
