特點：
1.行程大，測量范圍更廣
2.自主開發(fā)QMS3D軟件，可滿足客戶不同測量需求
3.具有快速自動對焦、自動尋邊，強大的編程和自動測量功能
4.采用亞像素細(xì)分技術(shù)，提高邊界分辨能力
5.配置操縱手柄，亦可軟件程控
6.SPC數(shù)據(jù)處理分析，大批量治具測量
7.X、Y、Z三軸伺服控制，定位精度高速度快，運行平穩(wěn)
8.采用自主開發(fā)的嵌入式模塊控制系統(tǒng)，將復(fù)雜的控制系統(tǒng)集成于儀器內(nèi)部，穩(wěn)定性更高
9.程控恒流驅(qū)動式八區(qū)表面冷光光源，可適應(yīng)復(fù)雜的工件測量
10.X、Y向?qū)к壊捎酶呔然◢徥?，具有高穩(wěn)定性及剛性，不易變形
11.X、Y向移動的部份采用低摩擦，高速度，高精度的氣浮移動導(dǎo)向系統(tǒng)
12.采用同布帶或絲桿傳動，精度高，穩(wěn)定性好
13.花崗石直線度和玻璃平面度好，花崗石導(dǎo)軌無摩擦、不磨損
14.可通過激光指示器尋找被測工件的具體位置，快速定位，方便快捷
技術(shù)規(guī)格參數(shù):
| 長度單位：mm | |||
| 參數(shù)/機型 | VMS-6060H | VMS-6090H | |
| 工作臺 | X,Y軸行程 | 600×600 | 600×900 |
| Z軸行程 | 200調(diào)焦及輔助測量 | ||
| 玻璃臺尺寸 | 640×770 | 640×1070 | |
| 工作氣壓 | ≥0.5MPa | ||
| 數(shù)字測量系統(tǒng) | 光柵尺分辨力：X、Y、Z軸0.0005 | ||
| 0.7~4.5×變焦鏡頭，總視頻放大倍率為20~128× | |||
| X,Y軸馬達(dá)運動速度 | <300mm/s | ||
| Z軸馬達(dá)運動速度 | <50mm/s | ||
| 儀器外形尺寸(L×W×H) | 1500×1300×1510 | 1800×1300×1510 | |
| 儀器重量(Kg) | 1281 | 1500 | |
