性能指標(biāo)
- SEM分辨率： 0.7nm @ 15kV(COF)、1.0nm @ 15kV 1.0nm @ 1kV(COF)、1.4nm @ 1kV
- FIB分辨率：2.5nm @ 30kV
- FIB束流：1pA～50nA
- 探測(cè)器： 樣品室和鏡筒內(nèi)二次電子探測(cè)器 樣品室和鏡筒內(nèi)背散射電子探測(cè)器
- 質(zhì)譜質(zhì)量分辨率：>800
- 質(zhì)譜探測(cè)極限：3ppm
- 質(zhì)譜空間分辨率：40nm(水平方向) 3nm(深度方向)
- 附件：能譜儀(EDS)、EBSD
主要應(yīng)用
- 該設(shè)備在雙束電鏡(SEM/FIB)的基礎(chǔ)上配備了EDS和EBSD，同時(shí)還集成了一體化的TOF-SIMS。
- 該設(shè)備不但能進(jìn)行低電壓超高分辨的電鏡觀察；
- 也能利用FIB對(duì)試樣進(jìn)行切割、加工、沉積，從事內(nèi)部和截面觀察及特定圖形加工工作。
- TOF-SIMS可以進(jìn)行高空間分辨的質(zhì)譜分析，可對(duì)包含H、Li等傳統(tǒng)EDS無(wú)法分析的全元素以及同位素進(jìn)行分布分析。
樣品要求
- 送檢樣品必須為干燥固體、塊狀、片狀、纖維狀及粉末狀均可。
- 應(yīng)有一定的化學(xué)、物理穩(wěn)定性，在真空中及電子束轟擊下不會(huì)揮發(fā)或變形；無(wú)磁性、放射性和腐蝕性。
- 含水分較多的生物軟組織的樣品制備，要求用戶自己進(jìn)行臨界點(diǎn)干燥之前的固定、清洗、脫水及用醋酸（異）戊酯置換等處理，最后由本室進(jìn)行臨界點(diǎn)干燥處理。
- 觀察圖像樣品應(yīng)預(yù)先噴金膜。
- 一般情況下，樣品盡量小塊些（≤10x10x5mm較方便）。
- 粉末樣品每個(gè)需1克左右。
- 納米樣品一般需超聲波分散，并鍍鉑金膜。
儀器說(shuō)明
- 超高分辨率的電鏡適合多種試樣的極限觀察；
- 超高分辨率的FIB可以進(jìn)行精確的試樣加工，尤適合制備定區(qū)域TEM薄片；
- TOF-SIMS有著遠(yuǎn)勝于EDS的空間分辨率；
- 元素深度剖析有著非常高的Z方向分辨率，非常適合薄膜分析；
- 具有ppm級(jí)的探測(cè)靈敏度；
- 可進(jìn)行同位素分析。
