品牌 | PANALYTICAL/帕納科 |
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帕納科高分辨率x射線衍射儀儀器簡(jiǎn)介:
X'Pert PRO MRD/XL是高級(jí)半導(dǎo)體材料的標(biāo)準(zhǔn)裝備,用于: 高級(jí)材料科學(xué)和納米技術(shù),半導(dǎo)體材料研究和生產(chǎn)質(zhì)量控制,可以適用各種應(yīng)用,尤其適合薄膜分析,例如: 搖擺曲線分析和倒易空間Mapping, 反射率和薄膜相分析,殘余應(yīng)力和織構(gòu)分析, X'Pert PRO MRD/ XL 滿足半導(dǎo)體、LED、薄膜和高級(jí)工業(yè)材料的所有高分辨XRD分析需要。XL可以滿足直徑達(dá) 300 mm的晶片分析,并有精密的自動(dòng)晶片裝載選擇;XL成為薄膜生產(chǎn)發(fā)展的*的分析手段,LED的業(yè)界標(biāo)準(zhǔn)。
帕納科高分辨率x射線衍射儀可以適用各種應(yīng)用,尤其適合薄膜分析,例如:
· 振動(dòng)曲線分析和交互空間圖
· 反射儀和薄膜相分析
· 殘余應(yīng)力和織構(gòu)分析
帕納科高分辨率x射線衍射儀同已經(jīng)證明的標(biāo)準(zhǔn)版本系統(tǒng)一樣,還有許多專門的版本:
· X'Pert PRO MRD平面衍射系統(tǒng),可以測(cè)量與樣品表面垂直的晶格衍射
· X'Pert PRO Extended MRD 允許裝備 X射線鏡像和在線高分辨單色器,增強(qiáng)入射光束的強(qiáng)度。
· X'Pert PRO MRD XL 滿足半導(dǎo)體,薄膜和高級(jí)工業(yè)材料的所有高分辨XRD分析需要。
帕納科高分辨率x射線衍射儀技術(shù)參數(shù):
1,功率:3kW
2,測(cè)角儀重現(xiàn)性:0.0001度
3,測(cè)角儀類型:T-2T
4,五維樣品臺(tái)