產(chǎn)品介紹
P-7是KLA公司的第八代探針式臺階儀系統(tǒng)，歷經(jīng)技術(shù)積累和不斷迭代更新，集合眾多技術(shù)優(yōu)勢。 P-7建立在市場的P-17臺式探針輪廓分析系統(tǒng)的成功基礎(chǔ)之上。 它保持了P-17技術(shù)的測量性能，并作為臺式探針輪廓儀平臺提供了的性價比。 P-7可以對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力進行2D和3D測量，其掃描可達150mm而無需圖像拼接。從可靠性表現(xiàn)來看， P-7具有業(yè)界的測量重復(fù)性。UltraLite®傳感器具有動態(tài)力控制，良好的線性，和精準(zhǔn)的垂直分辨率等特性。友好的用戶界面和自動化測量可以適配大學(xué)、研發(fā)、生產(chǎn)等不同應(yīng)用場景。
主要技術(shù)參數(shù)
- 1.重復(fù)性：≤4A （0.01%）
- 2.垂直分辨率：0.01A
- 3.水平分辨率（X): 0.025um
- 4.水平分辨率（Y):0.5um
- 5.采樣率(點)：4,000,000
- 6.垂直線性度：±0.5%＞2000A 10A ≤ 2000
- 7.針壓范圍：0.03~50mg
- 8.量測長度：150mm（無需拼接）
- 9.掃描速度：2um/s-25mm/s
應(yīng)用
臺階高度
P-7可以提供納米級到1000μm的2D和3D臺階高度的測量。
這使其能夠量化在蝕刻，濺射，SIMS，沉積，旋涂，CMP和其他工藝期間沉積或去除的材料。
P-7具有恒力控制功能，無論臺階高度如何都可以動態(tài)調(diào)整并施加相同的微力。這保證了良好的測量穩(wěn)定性并且能夠精確測量諸如光刻膠的軟性材料。
紋理：粗糙度和波紋度
P-7提供2D和3D紋理測量并量化樣品的粗糙度和波紋度。軟件濾鏡功能將測量值分為粗糙度和波紋度部分，并計算諸如均方根（RMS）粗糙度之類的參數(shù)。
外形：翹曲和形狀
P-7可以測量表面的2D形狀或翹曲。這包括對晶圓翹曲的測量，例如半導(dǎo)體或化合物半導(dǎo)體器件生產(chǎn)中的多層沉積期間由于層與層的不匹配是導(dǎo)致這種翹曲的原因。P-7還可以量化包括透鏡在內(nèi)的結(jié)構(gòu)高度和曲率半徑。
應(yīng)力：2D和3D薄膜應(yīng)力
P-7能夠測量在生產(chǎn)包含多個工藝層的半導(dǎo)體或化合物半導(dǎo)體器件期間所產(chǎn)生的應(yīng)力。
缺陷復(fù)檢
缺陷復(fù)查用于測量如劃痕深度之類的缺陷形貌。缺陷檢測設(shè)備找出缺陷并將其位置坐標(biāo)寫入KLARF文件。 “缺陷復(fù)檢”功能讀取KLARF文件、對準(zhǔn)樣本，并允許用戶選擇缺陷進行2D或3D測量。
