日本Horiba STEC LF/LV微小液體質(zhì)量流量計(jì)/控制器是上初次采用了冷卻檢測(cè)方式的流量傳感器。
日本Horiba STEC LF/LV微小液體質(zhì)量流量計(jì)/控制器產(chǎn)品簡(jiǎn)介：
搭載有上初次采用了冷卻檢測(cè)方式的流量傳感器
日本Horiba STEC LF/LV微小液體質(zhì)量流量計(jì)/控制器產(chǎn)品特點(diǎn)：
通過采用數(shù)字回路，實(shí)現(xiàn)了高精度、高速響應(yīng)。
可以進(jìn)行微升以上的微小流量控制。
可以進(jìn)行低沸點(diǎn)液體材料、高粘度液體材料的精細(xì)流體控制。
超潔凈類型
日本Horiba STEC LF/LV微小液體質(zhì)量流量計(jì)/控制器技術(shù)參數(shù)：
名稱質(zhì)量流量計(jì)型號(hào)LF-F20M-ALF-F30M-ALF-F40M-ALF-F50M-ALF-F60M-A
全標(biāo)度流量(g/min) | 0.02/0.05/0.1 | 0.2/0.5 | 1/2/5 | 10/20 | 50/100 | ||
檢測(cè)控制范圍 | 5??99% F.S. | ||||||
對(duì)象液體種類 *1 | 可腐蝕不銹鋼的HCl.HF等液體除外。 | ||||||
液體粘度 *2 | 很大值. 0.1 Pa·s (100cp) | ||||||
精度 *3 | ±1% F.S. | ||||||
直線性 *3 | ±0.5% F.S. | ||||||
重復(fù)性 *3 | ±0.5% F.S. | ||||||
響應(yīng)精度 | 3秒以內(nèi) (T98) | 2秒以內(nèi) (T98) | |||||
使用環(huán)境溫度 *4 | 5??50℃ (15 ?? 45℃精度的確保) | ||||||
溫度影響 Span | ±0.1%F.S./℃ 很大值±1% | ||||||
工作差壓值值 *5 | 很大值. 5MPa (視為流量計(jì)) / 50??300kPa (with piezo 控制閥) | ||||||
耐壓 | 10MPa (視為流量計(jì)) | ||||||
壓力損失 | 很大值. 500Pa | ||||||
流量設(shè)定信號(hào) | 模擬：0.25??5 VDC(輸入阻抗1MΩ以上)數(shù)字式：RS485(F-Net通信協(xié)議) | ||||||
流量輸出信號(hào) | 模擬：0??5 VDC(很小負(fù)荷電阻2kΩ) 數(shù)字式：RS485(F-Net通信協(xié)議) | ||||||
驅(qū)動(dòng)電源 | +15 V ±5%, 200 mA -15 V ±5%, 200 mA | ||||||
外部泄漏規(guī)格 | 5×10-12Pa·m3/s (He) | ||||||
接液部材質(zhì) | SUS316L, Ni | ||||||
標(biāo)準(zhǔn)接頭 | 1/16”， 1/8” SWL類型， 1/8” VCR 類型 | 1/8” SWL類型， 1/8” VCR 類型 | 1/4” SWL類型 1/4” VCR 類型 | ||||
名稱質(zhì)量流量控制器型號(hào)LV-F20 (PO/MO)LV-F30 (PO/MO)LV-F40 (PO/MO)LV-F50 (PO/MO)LV-F60 (PO/MO)
全標(biāo)度流量(g/min) | 0.02/0.05/0.1 | 0.2/0.5 | 1/2/5 | 10/20 | 50/100 | |||
檢測(cè)控制范圍 | 5??99% F.S. | |||||||
對(duì)象液體種類 *1 | 可腐蝕不銹鋼的HCl.HF等液體除外。 | |||||||
液體粘度 *2 | 很大值. 0.01 Pa·s (10cp) | |||||||
精度 *3 | ±1% F.S. | |||||||
直線性 *3 | ±0.5% F.S. | |||||||
重復(fù)性 *3 | ±0.5% F.S. | |||||||
響應(yīng)精度 | 3秒以內(nèi) (T98) | 2秒以內(nèi) (T98) | ||||||
使用環(huán)境溫度 *4 | 5??50℃ (15 ?? 45℃精度的確保) | |||||||
溫度影響Span | ±0.1%F.S./℃ 很大值±1% | |||||||
工作差壓值 *5 | 0.05??0.3MPa | |||||||
耐壓 | 1MPa | |||||||
壓力損失 | ー | |||||||
流量設(shè)定信號(hào) | 模擬：0.25??5 VDC(輸入阻抗1MΩ以上) 數(shù)字式：RS485(F-Net通信協(xié)議) | |||||||
流量輸出信號(hào) | 模擬：0??5 VDC(很小負(fù)荷電阻2kΩ) 數(shù)字式：RS485(F-Net通信協(xié)議) | |||||||
驅(qū)動(dòng)電源 | +15 V ±5%, 200 mA -15 V ±5%, 200 mA | |||||||
外部泄漏規(guī)格 | PO 類型：1×10-8Pa?m3/s (He) MO 類型： 5×10-12Pa?m3/s (He) | |||||||
接液部材質(zhì) | PO 類型：SUS316L， Ni， PTFE， PFA MO 類型： SUS316L，Ni | |||||||
標(biāo)準(zhǔn)接頭 | 1/16” ， 1/8” SWL類型， 1/8” VCR 類型 | 1/8 SWL類型， 1/8”VCR 類型 | 1/4” SWL類型 1/4” VCR 類型 | |||||
*1：LF-F/LV-F系列質(zhì)量流量控制器利用1種液體進(jìn)行了流量校正 (請(qǐng)預(yù)先所使用 的液體。)
不能檢測(cè)含有固體物的液體。
如果混合液中混合比會(huì)發(fā)生變化時(shí)，請(qǐng)預(yù)*行咨詢協(xié)商。
LV-F系列質(zhì)量流量控制器如果在對(duì)象液體中含有粒子等時(shí)，請(qǐng)?jiān)谝淮味?入口端) 安裝0.2μm(Abs.)以下的過濾器。
*2：LF-F類型質(zhì)量流量控制器根據(jù)流量量程，可以適用到較大值， 0.1Pa?s。有關(guān)高粘度的液體請(qǐng)預(yù)*行咨詢協(xié)商。
*3：以SEMI E56-1296 為準(zhǔn)。
*4：進(jìn)行測(cè)量??控制的液體溫度如果低于環(huán)境溫度時(shí)，使用時(shí)請(qǐng)把溫差控制在10℃以 內(nèi);如果高于液體溫度時(shí)，使用時(shí)請(qǐng)把溫差控制在3℃以內(nèi)。
*5：這是在粘度0.001Pa??s中的F.S.流量值。
