東京計(jì)裝TOKYO KEISO / UCUF-P系列超聲波流量計(jì)
全NEW PFA結(jié)構(gòu),耐腐蝕性高,可應(yīng)用CMP機(jī)臺(tái)測(cè)量研磨液。
3/8” 管徑設(shè)計(jì)適用于大部分半導(dǎo)體機(jī)臺(tái)使用。
測(cè)量范圍 ?。篗in : 0 ~ 100mL/Min ,0 ~ 8000 mL/Min
高精確度 ?。?/-1 %R.D.
連接口徑 ?。?/8” 。
材質(zhì) ?。航右翰?PFA
電纜信號(hào)接頭:BNC 或SMB
須搭配 SFC-/720 / SFC780 轉(zhuǎn)換器使用