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  • AsH3/砷烷分析氦離子氣相色譜儀

GC-126PDD/AsH3 AsH3/砷烷分析氦離子氣相色譜儀

參考價
面議
具體成交價以合同協議為準
  • 型號GC-126PDD/
  • 品牌
  • 所在地杭州市
  • 更新時間2022-08-25
  • 廠商性質經銷商
  • 入駐年限6
  • 實名認證已認證
  • 產品數量47
  • 人氣值636
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系統依據的相關標準:GB/T26250-2010電子工業(yè)用氣休GC-126PDD氦離子化氣相色譜儀適用于高純氣體、超高純氣體及電子工業(yè)用氣體中痕量雜質的檢測
AsH3/砷烷分析氦離子氣相色譜儀 產品詳情

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工業(yè)氣體行業(yè)的高純氣體分析系統,很好的完成了氣體中微量雜質,特別是ppb級的雜質的分析。

Items/檢測項目一:  N 2 ≤ 0.20ppm, O 2≤ 0.02 ppm , Ar≤ 0.02 ppmv ,SiH 4≤ 0.02ppmv;  

                       CO2≤ 0.02ppmv CO≤ 0.03ppmv ,H2S ≤ 0.0 3 ppmv , C1C2≤ 0.0 5 ppmv ,

                        GeH4(鍺烷)、 SiH4(硅烷)、 PH3(磷烷)H2S

進樣與反吹系統: 吹掃十通閥2只; 吹掃六通閥3只;

閥體選:采用VICI 316L不銹鋼材質; 氣路管線: 1/161/8采用VICI 316L材質

儀器主要應用于6N砷烷氣體中微量雜質的分析,具體內容詳見下表:

氣體種類

需分析特氣的雜質種類

He

H2

O2/Ar

N2

CH4

CO

CO2

H2S

 C2、SiH4、 PH3、GeH4Ge2H6、C3、C4

儀器的最小

檢測限(PPb)

5

5

5

5

15

5

20-30

5-10

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