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為了實(shí)現(xiàn)始終如一的可靠性能和零維護(hù)，您可以依賴于Edwards 的 STP Maglev 渦輪分子泵來(lái)實(shí)現(xiàn)。
我們的一套 STP Maglev 渦輪分子泵于 1983 年售出，現(xiàn)在已經(jīng)在世界各地 安裝了多套。
大部分運(yùn)行于半導(dǎo)體制程工具中，表現(xiàn)出了的性能級(jí)別和可靠性。對(duì)于需要長(zhǎng)時(shí)間正常運(yùn)行、無(wú)碳?xì)浠衔锉盟?、維護(hù)量少和低振動(dòng)的應(yīng)用， STP Maglev 渦輪分子泵。
轉(zhuǎn)子通過(guò)磁力軸承實(shí)現(xiàn)懸浮，因此，消除了轉(zhuǎn)子與泵其余部分之間的接觸。除振動(dòng)很低之外，
消除接觸還意味著轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時(shí)不會(huì)發(fā)生軸承接觸，也就無(wú)需對(duì)泵進(jìn)行后續(xù)維護(hù)。產(chǎn)品開(kāi)發(fā)的每個(gè)設(shè)計(jì)階段融合了節(jié)能技術(shù)，以降低能耗和提升運(yùn)行效率，同時(shí)不損害質(zhì)量和性能。
- 提高了生產(chǎn)效率：
更快抽空到基準(zhǔn)壓力 - 體積緊湊：
節(jié)省空間并且易于安裝 - 低擁有成本：
低功耗和水電消耗 - 免維護(hù)：
經(jīng)濟(jì)
- 提高了生產(chǎn)效率：
