產(chǎn)品介紹:
光罩技術(shù)的三次元影像測(cè)量?jī)xGM系列,為七海測(cè)量之光罩技術(shù)制造而成,此技術(shù)已獲美國(guó)、中國(guó)臺(tái)灣及大陸等地區(qū)的發(fā)明和創(chuàng)新。此類機(jī)種的精度幾乎不受機(jī)械誤差及阿貝誤差影響,尤其是X、Y軸行程在700mm × 600mm以上的機(jī)型,無(wú)論是XY軸向精度,還是XY平面坐標(biāo)精度皆能在5μ內(nèi),其精準(zhǔn)度比所有百萬(wàn)價(jià)值內(nèi)的德國(guó)、日本或其它國(guó)外進(jìn)口的機(jī)器更精準(zhǔn)。
技術(shù)參數(shù):
型號(hào) | GM7060 | |
行程(mm) | X | 700 |
Y | 600 | |
Z | 100 | |
外型尺寸 | 1860x1270x1680 | |
工作臺(tái)大小 | 1020x920 | |
工作臺(tái)承重(kg) | 5kg | |
機(jī)臺(tái)重量 | 800kg | |
軸向測(cè)量精度 | XY(3.0+L/200)um | |
平面精度 | < 5 μm | |
控制方式 | 自動(dòng) | |
攝像機(jī) | SOV-高解析1/3” 彩色CCD | |
SOV-測(cè)量專用型鏡頭 | ||
光源 | 輪廓光 | LED,亮度連續(xù)可調(diào) |
表面光 | LED,亮度連續(xù)可調(diào) | |
放大倍數(shù) | 約20-165倍(光學(xué)放大倍率為0.4-3.4倍) | |
選配功能 | 七海測(cè)量 16向全視角旋轉(zhuǎn)燈源系統(tǒng) | |
七海測(cè)量 12段自動(dòng)變焦鏡頭 | ||
觸發(fā)測(cè)頭探針組(智慧型探針測(cè)量系統(tǒng)) | ||
激光位移感測(cè)系統(tǒng) | ||
工作距離 | 90mm | |
電源 | 220 V ± 10% ,50 Hz(用電設(shè)備要求接地可靠:接地電阻小于4歐姆) | |
工作環(huán)境 | 20℃ ± 2℃,溫度變化<2℃/hr,濕度45% ~ 75% | |
振動(dòng)<0.002g,低于15Hz |
『晶元光罩技術(shù)——多國(guó)發(fā)明』:
◇ 純軟件工作平臺(tái)
◇ 特殊光學(xué)技術(shù)無(wú)阿貝誤差
◇ 非龍門式大型外架設(shè)計(jì),動(dòng)量降低,無(wú)剛性不足與運(yùn)動(dòng)遲滯之問(wèn)題
◇ 平面坐標(biāo)測(cè)量
◇ 不需要光柵尺、不需要編碼器
『測(cè)量軟件』:
※ CNC電動(dòng)桌面(以軟件功能控制工作臺(tái)面,增加操作人員使用上及操作上的方便性)
※ 有強(qiáng)大的環(huán)形、矩形陣列功能, 并能運(yùn)行CNC自動(dòng)測(cè)量。
※ CNC自動(dòng)測(cè)量編程:可以自定義控制表面光(上燈光源)、穿透光(底光)、各種角度光(旋轉(zhuǎn)燈)、CCD對(duì)比度來(lái)做CNC自動(dòng)測(cè)量,避免了以前用底光做CNC的局限性。
※ CNC自動(dòng)測(cè)量編程:可以編程有高度差的測(cè)量,并且可以自定義客戶坐標(biāo)進(jìn)行編程與保存。
※ 存檔照片輸入與實(shí)時(shí)影相中的實(shí)際工件進(jìn)行對(duì)比功能
※ 實(shí)時(shí)影像中可任意設(shè)置坐標(biāo)原點(diǎn)(0,0)
※ 輸出到AutoCAD圖形自動(dòng)擺正功能
※ 可輸入AutoCAD的標(biāo)準(zhǔn)工程圖進(jìn)入實(shí)時(shí)影像中與實(shí)際工件對(duì)比功能
※ 鳥瞰功能:可檢視當(dāng)前繪圖位置
※ 直接用鍵盤輸入圓及線段功能
※ 直接畫線、圓、弧時(shí),可以同時(shí)在AutoCAD及本測(cè)繪儀軟體中同時(shí)生成相應(yīng)的圖形
※ 強(qiáng)大的去毛刺功能,可以自動(dòng)抓取線、圓、弧,減少了人為測(cè)量造成的誤差。
※ 智慧型取R角功能
※ 測(cè)量系統(tǒng):對(duì) 物體的長(zhǎng)寬及 線、圓、弧、角度等進(jìn)行測(cè)量與標(biāo)注
※ 繪圖系統(tǒng):畫線、圓、弧及線段之垂直線、水平。
※ 亦可修改圖形,并將圖形輸入到AutoCAD
※ 圖形輸入到AutoCAD中,可將當(dāng)前影像拍下以JPEG格式儲(chǔ)存
※ 自動(dòng)定位,自動(dòng)擺正
※ DXF、DRL文件調(diào)入自動(dòng)測(cè)量
※ 線寬線距快速測(cè)量
※ 自動(dòng)對(duì)焦:電腦自動(dòng)判斷影像的清晰面。