WGFGT1PR1
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGPMOGGT2過(guò)濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過(guò)濾器
ENTEGRISWGFGMBRR4過(guò)濾器
ENTEGRISWGPM0GGT4過(guò)濾器
ENTEGRISXX67000WH過(guò)濾器
ENTEGRISWGGB01KAN氣體過(guò)濾器
ENTEGRISWGFG01KL0過(guò)濾器
EntegrisWGFGT1PR1過(guò)濾器
ENTEK1442-PR-0812E0210N探頭
ENTEK1442-DR-5850前置器
EntegrisWGFGMBRR4
ENTEGRISWGPM0GGG2過(guò)濾器
ENTEGRISWGPM0GGT4過(guò)濾器
ENTEGRISWGFGMBRR4過(guò)濾器
ENTEGRISYY260103P濾殼
ENTEGRISPN2H010E1濾芯
EntegrisWGMXMBRR4過(guò)濾器
EntegrisWGFG02PR1過(guò)濾器
EntegrisWGFGT1PR1過(guò)濾器
ENTEGRISDS12-2C-16F-3氣動(dòng)閥
GENTECSS-RV32RA-TF8泄壓閥
ENTEGRISWGPMOGGT2過(guò)濾器
ENTEGRISWGPMOGGT4過(guò)濾器
EntegrisWGPM0GGT4過(guò)濾器
EntegrisWG2SS8RR2過(guò)濾器
EntegrisWG3NS6RR2過(guò)濾器
ENTEGRISCR8-2CT-12FF-3閥
ENTEGRISYY260103P濾殼
ENTEGRISPN2H010E1濾芯
ENTEGRISWGPMOGGT4過(guò)濾器
gentec-EoMAESTRO主機(jī)
gentec-EoUP19K-15S-H5-D0探頭
ENTEGRISXX67000WH過(guò)濾器
ENTEGRISWGGB01KAN過(guò)濾器
ENTEGRISWGFG01KL0過(guò)濾器
ENTEGRISWGMXMBRR4過(guò)濾器
Wafergard II F 微型在線氣體過(guò)濾器
這些氣體過(guò)濾器推薦用于惰性氣體和反應(yīng)性氣體,與所有類(lèi)別的半導(dǎo)體工藝氣體具有出色的兼容性,并且易于安裝在狹窄的氣體面板和機(jī)柜中。
PTFE 膜提供高效過(guò)濾
低壓降降低了在較低蒸氣壓氣體中冷凝的風(fēng)險(xiǎn)
與所有類(lèi)別的半導(dǎo)體工藝氣體具有出色的兼容性
用于惰性和反應(yīng)性氣體,包括臭氧
應(yīng)用
Wafergard II F 微型在線氣體過(guò)濾器應(yīng)用
生命科學(xué)應(yīng)用
臭氧應(yīng)用(氣體)
氣柜和面板
超純氣體系統(tǒng)
內(nèi)部流程工具
產(chǎn)品規(guī)格
材料
濾芯
由模壓 PFA 結(jié)構(gòu)支撐的疏水 PTFE 膜
住房 電拋光 VAR 316L 不銹鋼
下游清潔度 小于 0.03 個(gè)顆粒/升 (<1 個(gè)顆粒/ft 3 ) 大于 0.01 µm
揮發(fā)物 <10 ppb 水分
移除等級(jí) ≥0.0015 µm
表面處理內(nèi)部 ≤7 µin Ra
氦泄漏等級(jí) 合格的 2 × 10 -10毫升/秒
經(jīng)過(guò)測(cè)試 1 × 10 -9毫升/秒
運(yùn)行條件 入口壓力 207 bar (3000 psig) @ 23°C (73°F)
正向壓差 4 巴 (60 psid) @ 23°C (73°F)
反向壓差 0.07 MPa (0.7 bar,10 psid) @ 23°C (73°F)
工作溫度 120°C (248°F)
顆粒保留
大于 99.9999999% (9 LRV) 在 30 slpm 下去除所有顆粒(參考 穿透性的顆粒尺寸)
流量等級(jí) 參考性能數(shù)據(jù)
零件號(hào)
Wafergard II F 微型在線氣體過(guò)濾器部件號(hào)
零件號(hào) 接頭尺寸和類(lèi)型 長(zhǎng)度 應(yīng)用
WG2FT1BW2 1/4" 對(duì)焊管 89.9 毫米(3.54 英寸) 半導(dǎo)體
WG2FT1RF2 1/4" 墊圈密封(與 VCR 接頭兼容)公入口/母出口 88.9 毫米(3.50 英寸) 半導(dǎo)體
WG2FT1RR2 1/4" 墊片密封(與 VCR 接頭兼容)外螺紋入口/出口 84.1 毫米(3.31 英寸) 半導(dǎo)體
WG2FT1RR2L 1/4" 墊片密封(與 VCR 接頭兼容)外螺紋入口/出口 84.1 毫米(3.31 英寸) 生命科學(xué)
WG2FT1SS2 1/4" 壓縮密封(與世偉洛克接頭兼容) 73.7 毫米(2.90 英寸) 半導(dǎo)體
ENTEGRISDS12-2C-16F-3偵測(cè)器
EntegrisWG2SS8RR2過(guò)濾器
EntegrisWG3NS6RR2過(guò)濾器
ENTEGRISWG3NS1RR2過(guò)濾器
ENTEGRISWG3NS2RR4過(guò)濾器
ENTEGRISWGPM0GGT4過(guò)濾器
ENTEGRISYY260103N過(guò)濾器
EntegrisCR4-2C-6F-3氣動(dòng)閥
ENTEGRISWGPMOGGT4過(guò)濾器
EntegrisWG2FT1SS2過(guò)濾器
ENTEGRISWGFG01DS0(一包十個(gè))濾芯
ENTEGRISWGFGMBRR4過(guò)濾器
ENTEGRIS CTFV01P01KPW濾芯
ENTEGRISDS12-2C-16F-3 13085331氣動(dòng)閥
ENTEGRISWG3NS2RR4過(guò)濾器
ENTEGRISWGPM0GGT4過(guò)濾器
ENTEGRISWGMXMBRR4過(guò)濾器
EntegrisCWFV0S1S3濾芯
ENTEGRISWGPM0GGT4過(guò)濾器
ENTEGRISWGPMOGGT2過(guò)濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過(guò)濾器
ENTEGRISWGMXMBRR4過(guò)濾器
ENTEGRISDS12-2C-16F-3氣動(dòng)閥
ENTEGRISWGMXMSRR4過(guò)濾器
ENTEGRISCN2501E6濾芯
ENTEGRISWGFGMBRR4過(guò)濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過(guò)濾器
EntegrisWGPM0GGG2過(guò)濾器
entegrisWGFGMBRR4過(guò)濾器
ENTEGRISWG2SS8RR2過(guò)濾器
ENTEGRISCN2501E6濾芯
EntegrisSVTH01TQ1過(guò)濾器
ENTEGRISWGFGMBRR4過(guò)濾器
ENTEGRISCN2501E06濾芯
ENTEGRISWGFGMBRR4過(guò)濾器
ENTEGRISWGFG50PR1過(guò)濾器
ENTEGRISWGFG01DSH過(guò)濾器
ENTEGRISPLMV-K12閥
ENTEGRISPLMV-K04閥
ENTEGRISPLMV-K16閥
ENTEGRISPLPV-K04閥
ENTEGRISPLPV-K08閥
ENTEGRISPLPV-K12閥
ENTEGRISPLPV-K16閥
ENTEGRISWG2F02RR2
ENTEGRISCR8-2CT-12FF-3氣動(dòng)閥
ENTEGRISWGFGMBRR4過(guò)濾器
EntegrisWG2FT1RR2過(guò)濾器
ENTEGRISWGFGMBRR4過(guò)濾器
EntegrisYY5032PS1過(guò)濾器
ENTEGRISWGFGMBRR4過(guò)濾器
ENTEGRISWGMXMBRR2
EntegrisWG2FT1RR2過(guò)濾器
EntegrisWG2FT1RR2過(guò)濾器
entegrisWGFGT1PR1過(guò)濾器
EntegrisYY5032PS1
EntegrisWGFG21KP0
ENTEGRISWGFGMBRR4過(guò)濾器
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGT1PR1過(guò)濾器
EntegrisWG2FT1RR2過(guò)濾器
ENTEGRISWGPMOGGT2美國(guó)ENTEGRIS應(yīng)特格過(guò)濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過(guò)濾器
ENTEGRISWGFG01DS0過(guò)濾器美國(guó)ENTEGRIS應(yīng)特格過(guò)濾器
ENTEGRISWGFGMBRR4過(guò)濾器
ENTEGRISWGFGMBRR4過(guò)濾器
ENTEGRISWGFGMBRR4過(guò)濾器
ENTEGRISLGMXFPRR4過(guò)濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過(guò)濾器
ENTEGRISLGMXFPRR4過(guò)濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過(guò)濾器