概述
功能和優(yōu)勢
- 可就地拆除插板和連接機(jī)構(gòu),便于維修
- 由于采用真空焊制造,消除了泄漏
- 電氣拋光的內(nèi)外表面
- 具有高導(dǎo)電性的緊湊型設(shè)計(jì)
- 手動執(zhí)行
- 在氣動版上,標(biāo)配有微開關(guān)位置指示器
- 舌簧開關(guān)選配型
- 可長期正常使用,很少需要維護(hù)
- 振動和沖擊小
- 可自由選擇方向
數(shù)據(jù)
壓力范圍 | 10-9 mbar 至 1 bar() |
8 x 10-10 - 750 Torr | |
泄漏值 | < 10- 9 mbar l s- 1 |
8 x 10-10 Torr l s- 1 | |
閥板上的大壓力差 | 1 bar / 750 Torr,在任一方向上 |
打開時(shí)閥板上的大壓力差 | 20 mbar/15 Torr |
位置指示器開關(guān),分?jǐn)嗄芰?/td> | 24 V 直流,5 A |
構(gòu)造材料 | |
主體,閥板 | AISI 304 不銹鋼 |
機(jī)構(gòu) | AISI 304 不銹鋼, |
軸承 | 淬硬高碳鉻鋼 |
簧環(huán) | SS PH 15-7 鉬 |
波紋管 | AM 350 不銹鋼 |
密封件,閥板 | 氟橡膠 |
閥蓋 | |
金屬密封閥 | OFHC |
其他閥 | 氟橡膠 |
加熱溫度 | |
閥體,閥打開 | 150 °C(氟橡膠閥蓋密封件) |
閥體,閥打開 | 250 °C(金屬閥蓋密封件) |
閥關(guān)閉 | 200 °C |
執(zhí)行器,氣動 | 100 °C |
**檢修前的平均壽命 | 100000 次關(guān)閉 |
固定位置 | 任何方向 |
氣動工作壓力 | 4 - 5.5 bar / 60 - 80 psi |
法蘭內(nèi)徑 | 320 mm |
12 in | |
高真空中的電導(dǎo) | 39000 l s-1 |
氣動閥短關(guān)閉 | |
和打開時(shí)間(5 bar 時(shí))。 | 3 s(關(guān)閉)4 s(打開) |
大約重量 | 77 kg |
取決于真空環(huán)境和打開及關(guān)閉速度