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臺階儀 | 薄膜測厚儀 | 微細(xì)形狀測定機(jī) ET4000系列

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  • 型號
  • 品牌
  • 所在地蘇州市
  • 更新時間2022-08-05
  • 廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
  • 入駐年限1
  • 實(shí)名認(rèn)證已認(rèn)證
  • 產(chǎn)品數(shù)量101
  • 人氣值283
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● 高精度.安定性.機(jī)能性適合于FPD基板·晶圓硬盤等的微細(xì)形狀、段差、粗度測定的機(jī)型?!?是多機(jī)能的全自動微細(xì)形狀測定機(jī),針對用途及樣品尺寸有多種機(jī)型可供選擇?!?ET4000A/ ET4000AK一可實(shí)現(xiàn)2D/3D表面形狀測量?!?ET4000M一高性能的泛用微細(xì)…
臺階儀 | 薄膜測厚儀 | 微細(xì)形狀測定機(jī) ET4000系列 產(chǎn)品詳情

臺階儀/膜厚儀ET4000系列產(chǎn)品參數(shù)


試片尺寸210×210mm~300×400mm
重現(xiàn)性1σ 0.5nm以內(nèi)
測定范圍Z:100um X:100~305mm (Y移動量:150~400mm)
分解能Z:0.1nm X:0.1um
測定力

0.5UN~500UN (0.05mg-50mg)


臺階儀可以應(yīng)用在半導(dǎo)體,光伏/太陽能,光電子,化合物半導(dǎo)體,OLED,生物醫(yī)藥,PCB封裝等領(lǐng)域的薄膜厚度,臺階儀測量薄膜厚度,臺階高度,粗糙度(Ra,Rq,Rmax...),劃痕深度,磨損深度,薄膜應(yīng)力(曲定量率半徑法)等定量測量方面。其高精度,高重復(fù)性,自動探索樣品表面


關(guān)鍵詞:臺階儀
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