FTM107-A膜厚監(jiān)控儀 一．FTM107-A膜厚監(jiān)控儀應(yīng)用范圍： FTM107-A膜厚監(jiān)控儀適用于普通蒸發(fā)、磁控濺射、離子鍍等真空鍍膜厚度測(cè)量，通過(guò)觸摸屏和數(shù)碼管顯示，使您能獲取完整的沉積數(shù)據(jù)，包括速率、厚度、鍍膜曲線和鍍膜時(shí)間。 FTM107-A膜厚監(jiān)控儀采用*的觸摸屏技術(shù)，控制和顯示均通過(guò)觸摸屏實(shí)現(xiàn)；同時(shí)配有數(shù)碼管顯示實(shí)時(shí)速率和厚度，以適應(yīng)習(xí)慣數(shù)碼管顯示的技術(shù)人員。到達(dá)設(shè)置厚度，自動(dòng)關(guān)閉擋板或蒸發(fā)源。采用了更*的軟件和硬件設(shè)備，進(jìn)一步提高了儀器抗力。 二、FTM107-A膜厚監(jiān)控儀技術(shù)特點(diǎn)： 1.全觸摸屏操作顯示，簡(jiǎn)單易用； 2.顯示薄膜厚度，可控制二個(gè)擋板/蒸發(fā)源； 3.監(jiān)控鍍膜層數(shù)達(dá)到99層； 4.提供RS232/RS485接口。 三、FTM107-A膜厚監(jiān)控儀技術(shù)參數(shù)： FTM107-A監(jiān)控儀 晶振頻率 6MHz（可選2.5M 3M 5M 9M晶體) 顯示方式 5”彩色觸屏+數(shù)碼管顯示速率和實(shí)厚 操作方式 觸摸屏 厚度范圍 0-99μ9999? 厚度顯示分辨率 1? 速率范圍 0-999.9? 速率顯示分辨率 0.1?/s 鍍膜層數(shù) 99層 探頭數(shù)量 4個(gè) 工具因子 0.01-99.99 材料存儲(chǔ) 257+自定義10種 通 訊 RS232/RS485 擋板/源控制 2組觸點(diǎn)，到達(dá)厚度關(guān)擋板/蒸發(fā)源 鍍膜顯示 速率曲線/數(shù)值 鍍膜巡回次數(shù) 99次 機(jī)箱尺寸 480×280×89mm(2U 19”機(jī)箱) 四．特殊功能： （1）具有人工停止鍍膜功能 （2）可顯示鍍膜層、材料和使用晶體振蕩頻率百分比 （3）顯示鍍膜結(jié)束后的監(jiān)測(cè)實(shí)厚、材料和層次 
