應(yīng)用:
DF-500系列 全金屬質(zhì)量流量控制器適合于半導(dǎo)體工藝、腐蝕性氣體質(zhì)量、流量高準(zhǔn)確度
特性:
?采用新型電磁閥,提升了響應(yīng)性,實(shí)現(xiàn)了整個(gè)區(qū)域1秒鐘以內(nèi)高速響應(yīng)
?采用不銹鋼密封材質(zhì),可支持高反應(yīng)性氣體
?10SCCM~10SLM的產(chǎn)品陣容
?配備了2個(gè)通信端口,支持菊花鏈
?標(biāo)準(zhǔn)配備了RS-485通信功能
?支持ROHS、CE規(guī)格