探針臺主機:α-150
1.1 適用: 6英寸及以下晶圓或芯片
1.2 X軸: 粗調(diào)行程:200mm
粗調(diào)方式:自鎖式推拉桿
微調(diào)行程:25mm
微調(diào)方式:千分尺控制
控制分辨率:10um
1.3 Y軸: 粗調(diào)行程:200mm
粗調(diào)方式:自鎖式推拉桿
微調(diào)行程:25mm
微調(diào)方式:千分尺控制
控制分辨率:10um
1.4 Z軸: 移動量:10mm
粗調(diào)行程:5mm,精度:±10%以內(nèi)
微調(diào)行程:0.3mm,精度:±20%以內(nèi)
1.5 θ軸: 移動量:±10°以上
1.6 平行度: 對載物臺 30um以內(nèi)
1.7 尺寸: 600(W)×600(D)×450(H) 不含突出部
1.8 重量: 約60kg
1.9 真空壓 小于-65kPa(用于晶圓吸附)
1.10 壓縮空氣:0.4-0.5MPa
1.11 使用環(huán)境:溫度23℃±5℃,濕度20%-80%(無結(jié)霜)
探針臺主機:α-150
1.1 適用: 6英寸及以下晶圓或芯片
1.2 X軸: 粗調(diào)行程:200mm
粗調(diào)方式:自鎖式推拉桿
微調(diào)行程:25mm
微調(diào)方式:千分尺控制
控制分辨率:10um
1.3 Y軸: 粗調(diào)行程:200mm
粗調(diào)方式:自鎖式推拉桿
微調(diào)行程:25mm
微調(diào)方式:千分尺控制
控制分辨率:10um
1.4 Z軸: 移動量:10mm
粗調(diào)行程:5mm,精度:±10%以內(nèi)
微調(diào)行程:0.3mm,精度:±20%以內(nèi)
1.5 θ軸: 移動量:±10°以上
1.6 平行度: 對載物臺 30um以內(nèi)
1.7 尺寸: 600(W)×600(D)×450(H) 不含突出部
1.8 重量: 約60kg
1.9 真空壓 小于-65kPa(用于晶圓吸附)
1.10 壓縮空氣:0.4-0.5MPa
1.11 使用環(huán)境:溫度23℃±5℃,濕度20%-80%(無結(jié)霜)