B1505A 功率器件分析儀 曲線追蹤儀是一種單機(jī)解決方案，它具有在10kV 和 1500A 條件下精確評(píng)估和表征功率器件的下一代曲線追蹤儀功能。B1505A 能評(píng)估所有類(lèi)型的功率器件，其優(yōu)異的性能特性包括寬電壓和電流范圍，快脈沖能力 ( 10μs ) ，μ Ω級(jí)導(dǎo)通電阻測(cè)量分辨率，以及亞 pA 級(jí)電流測(cè)量能力。此外，它的示波器觀察功能還可對(duì)脈沖波形進(jìn)行視覺(jué)驗(yàn)證。每個(gè)通道上配備的兩個(gè)獨(dú)立的模數(shù)( A / D )轉(zhuǎn)換器支持 2 μs 采樣率，能夠?qū)τ锌赡苡绊懫骷匦缘?/span>
關(guān)鍵計(jì)時(shí)進(jìn)行精確監(jiān)測(cè)。它也能在高電壓偏置 ( 達(dá)3000V )下進(jìn)行電容測(cè)量。帶 EasyEXPERT 軟件的 B1505A 包括將熟悉的曲線追蹤儀測(cè)量功能與方便的 PC 基儀器相組合的曲線追蹤儀工作模式，傳統(tǒng)曲線追蹤儀用戶(hù)能很快掌握該儀器的操作。對(duì)于測(cè)量功率器件和電源電路，該儀器更便于使用，有更好的數(shù)據(jù)分析能力，同時(shí)也簡(jiǎn)化了對(duì)測(cè)量數(shù)據(jù)的管理。
● 進(jìn)行寬范圍的 IV 測(cè)量
● 達(dá) 10 kV/1500 A
● 大的峰功率: 22.5 kW
● 高壓偏置下的中電流測(cè)量
(即 500 mA, 1200 V 下)
● μΩ 電阻測(cè)量
● 亞 pA 泄漏測(cè)量
● 進(jìn)行高電壓偏置的 CV 測(cè)量
● 脈沖測(cè)量 (≥ 10 μs)
● 溫度測(cè)量
● 易于使用的 EasyEXPERT 測(cè)試環(huán)境
● 曲線追蹤儀測(cè)試模式
● 示波器觀察方式
● 模塊化配置, 有 10 個(gè)用于支持模塊
的插槽
● 多種適用 SMU 類(lèi)型 : HPSMU,
MPSMU, HCSMU, MCSMU 和 HVSMU
● 多頻電容測(cè)量單元 (MFCMU)，
(1 kHz 至 5 MHz)
● 適用于封裝測(cè)試和圓片測(cè)試的標(biāo)準(zhǔn)
附件: 測(cè)試夾具, 模塊選擇器和
高壓偏置三通
● 主機(jī)隨帶 4.2 A 接地單元
● 用于儀器控制的 GPIB 端口
● 自測(cè), 自校, 自診
指標(biāo)條件
規(guī)定的測(cè)量與輸出精度需符合下列條件。注: SMU 的測(cè)量和輸出精度規(guī)定為在 SMU 連接端處, 用檢零端作參照。
1. 溫度: 23°C ± 5°C
2. 濕度: 20% 至 70%
3. 要在 40 分鐘預(yù)熱后進(jìn)行自校
4. 在自校后, 環(huán)境溫度變化需小于
±1°C (注: 不適用于 MFCMU)
5. 在自校后一小時(shí)內(nèi)進(jìn)行測(cè)量
(注: 不適用于 MFCMU)
6. 校準(zhǔn)周期 : 一年
7. SMU 積分時(shí)間設(shè)置 : 1 PLC (1 nA 至
1 A 量程, 電壓量程), 200 μs (20 A
量程) 高速模數(shù)轉(zhuǎn)換器平均;
每 1 PLC 為 128 采樣樣本
8. SMU 濾波器 : 開(kāi) (對(duì)于 HPSMU 和
MPSMU)
9. SMU 測(cè)量端連接:開(kāi)爾文連接(對(duì)于 HPSMU, MPSMU, HCSMU 和MCSMU), 非 Kelvin ( 對(duì)于 HVSMU )注: 本文列出了 B1505A 及其模塊的技術(shù)指標(biāo)和補(bǔ)充特性。技術(shù)指標(biāo)是對(duì) B1505A 和相關(guān)模塊的測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)。出廠的 B1505A 及任何相關(guān)模塊均符合技術(shù)指標(biāo)要求。技術(shù)指標(biāo)之后的“補(bǔ)充”特性不是保證的指標(biāo)，而是提供儀器功能和性能的有用信息。
注: 當(dāng)您在 B1505A 主機(jī)中安裝或更換模塊時(shí)，Agilent 保證這些模塊的功能性，模塊是按技術(shù)指標(biāo)進(jìn)行的設(shè)計(jì)。但如果您要求模塊達(dá)到技術(shù)指標(biāo)，則必須對(duì)儀器進(jìn)行校準(zhǔn)。
支持的插入模塊
B1505A 支持 10 個(gè)模塊插槽
部件號(hào)說(shuō)明占用插槽工作范圍測(cè)量分辨率
B1510A 高功率源監(jiān)視單元 (HPSMU) 2 -200 V 至 200 V, -1 A 至 1 A 2 μV, 10 fA
B1511A 中功率源監(jiān)視單元 (MPSMU) 1 -100 V 至 100 V, -100 mA 至 100 mA 0.5 μV, 10 fA
B1512A 大電流源監(jiān)視單元（HCSMU） 2 -100 V 至 100 V, -1 A 至 1 A
-20 V 至 20 V, -20 A 至 20 A (脈沖)
200 nV, 10 fA
B1513B 高壓源監(jiān)視單元 (HVSMU) 2 -3000 V 至 3000 V, -4 mA 至 4 mA
-1500 V 至 1500 V, -8 mA 至 8 mA
200 nV, 10 fA
B1514A 中電流源監(jiān)視單元 (MCSMU) 1 -30 V 至 30 V, -100 mA 至 100 mA
-30 V 至 30 V, -1 A 至 1 A (脈沖)
200 nV, 10 pA
B1520A 1 多頻電容測(cè)量單元 (MFCMU) 1 1 kHz 至 5 MHz 0.035 fFrms 2
1. B1505A 不支持 N1300A-100 SMU CMU 統(tǒng)一單元 (SCUU)。
2. 10 pF 電容器接到測(cè)量端時(shí), 在下列測(cè)量條件下有效: 1 MHz 頻率, 信號(hào)電平 250 mV AC, 測(cè)量時(shí)間 1 PLC。在 6 位顯示時(shí), 1 fF 量級(jí)的顯示分辨率為 0.000001 fF。
