重慶半導(dǎo)體晶圓測(cè)試氣體質(zhì)量流量控制器使用 CODA 科里奧利質(zhì)量流量計(jì)和控制器在條件下進(jìn)行高精度測(cè)量和控制。 CODA 儀表與各種液體和氣體(包括許多腐蝕性物質(zhì))兼容,即使在高達(dá) 4000 PSIA 的壓力和低至 40 g/h 的流速的工況時(shí),也能為您提供高精確度測(cè)量和控制。
高精度科里奧利質(zhì)量流量控制器
CODA KC 系列科里奧利質(zhì)量流量控制器,即使流體成分發(fā)生變化或未知時(shí),壓力高達(dá) 4,000 PSIA (275 bar) 時(shí)也能測(cè)量氣體或液體流量,精度可達(dá)讀數(shù)的 ±0.2%。
規(guī)格和定制選項(xiàng)
組成和選項(xiàng)
通訊協(xié)議:模擬、RS-232、RS-485、Modbus RTU
接液材料:
標(biāo)準(zhǔn):316L不銹鋼和FKM
可選:FFKM、EPDM、PCTFE、316L不銹鋼金屬密封件;鎳合金
防護(hù)等級(jí):IP40/65/66/67