項目 | 描述 |
垂直量程 | ±50μm、±200μm兩檔可調(diào) |
系統(tǒng)分辨力 | 滿量程時8納米 |
顯示分辨率 | 0.001μm |
濾波方式 | GAUSS、2RC、ISO13565 |
標準 | ISO1997、ANSI、JIS2001 |
取樣長度L/驅(qū)動速度Vt | L = 0.08mm / Vt = 0.25mm/s L = 0.25mm / Vt = 0.25mm/s L = 0.8mm / Vt = 0.5mm/s L = 2.5mm / Vt = 1mm/s 返程速度均為1mm/s |
評定長度Ln | Ln = (1~5)L |
示值誤差 / 示值重復(fù)性 | 10% / 6% |
測量參數(shù) | Ra、Rp、Rv、Rt、Rz、Rq、Rsk、Rku、Rc、Rpc、Rsm、Rmr(C)、tp、Rmr、Rpm、Rz1max、RzJIS、Rmax、Htp、Rδc、RΔq、RΔa、Rk、Rpk、Rvk、Mr1、Mr2、A1、A2 |
工作環(huán)境 | 溫度0 ~ 40℃ 濕度<90%RH |
儲運環(huán)境 | 溫度﹣40℃~60℃ 濕度<90%RH |
外形尺寸和重量 | 156 X75 X 56mm,760g |
傳感器驅(qū)動套 | 29 X 26 X 120mm |