Alicat質(zhì)量流量控制器
MCW系列低壓損氣體質(zhì)量流量控制器適用于低壓損應(yīng)用環(huán)境、泄漏測(cè)試,也能縮短50 scccm或更低流速條件下的氣動(dòng)響應(yīng)時(shí)間。
若您需要現(xiàn)有熱式質(zhì)量流量控制器的簡易替換件,MCE系列真空氣體質(zhì)量流量控制器將閥門置于內(nèi)部,使其工藝連接件與SEMI標(biāo)準(zhǔn)長度相符。
對(duì)于真用應(yīng)用,MCV系列真空氣體質(zhì)量流量控制器是在MCE系列的基礎(chǔ)上另增加一氣動(dòng)截止閥。
BASIS系列OEM氣體質(zhì)量流量控制器是艾里卡特的緊湊型質(zhì)量流量控制器系列,專門設(shè)計(jì)用于OEM應(yīng)用和大量訂單環(huán)境。
為滿足生物反應(yīng)器市場的需求,Alicat發(fā)布了專門用于生物行業(yè)的BIO系列氣體質(zhì)量流量控制器。
Alicat質(zhì)量流量控制器