一、掃描電子顯微鏡SEM3000產(chǎn)品概述：
掃描電子顯微鏡SEM3000是一款使用鎢燈絲的高性能掃描電子顯微鏡。觀察亞微米級的微觀結(jié)構(gòu)，放大倍數(shù)可達到100000倍。此型產(chǎn)品具有快速更換燈絲的優(yōu)點。其分辨率輕松優(yōu)于10 nm。在自動五軸樣品臺的配合下，非常適用于生產(chǎn)品質(zhì)控制及樣品篩選,適合傳統(tǒng)光學(xué)顯微鏡無法滿足需求的用戶。
二、掃描電子顯微鏡SEM3000產(chǎn)品應(yīng)用：
三、掃描電子顯微鏡SEM3000產(chǎn)品參數(shù)：
掃描模式
行掃：2 ms-80 ms 幀掃：0.4 s-160 s
快掃模式：512x512像素（可選256x256像素）
觀察模式：1024x1024像素（三檔速度）
拍照模式：4096x4096像素（三檔速度, 可選1024x1024像素）
真空系統(tǒng)
主泵：渦輪分子泵
前級泵：旋片式機械泵
系統(tǒng)極限真空度：5 x 10^-4Pa（渦輪分子泵）
探測器
二次電子、背散射電子（選配）、X能譜儀（選配）
樣品臺
X、Y、Z、R、T 五軸電動樣品臺
X：50 mm；
Y：50 mm；
Z：40 mm；
R：360°；
T：-15° 到+60°
安裝要求
電源：AC220 V；50 Hz;2KVA
地線：獨立地線一條，小于10Ω
溫度：15 ℃-30 ℃
濕度：≤70%
地面震動：≤5 μm/sec
交流磁場：≤0.3 μT
門寬：≥900 mm
外形尺寸和重量
主機 ：700（W）x750
D）x1450（H）；160 kg
