化學(xué)束外延起源于上個(gè)世紀(jì)80年代，它結(jié)合了分子束外延（MBE）和化學(xué)氣相沉積（CVD）技術(shù)的優(yōu)點(diǎn)，適用于生長(zhǎng)III-V族半導(dǎo)體薄膜，也可以用于Si, Si_xGe_1-x, FeSi₂薄膜沉積, 以及氧化物薄膜，包括但不限于LiTaO₃, 超導(dǎo)氧化物, TiO₂, Al₂O₃, 摻鉺Al₂O₃, Y₂O₃, CdO, HfO₂, LiNbO₃, MgO, ErSiO, ZnO, ZrO₂等。

化學(xué)束外延借用CVD（反應(yīng)前驅(qū)體分子通過(guò)氣相傳輸?shù)郊訜嵋r底上）及MBE（前驅(qū)體流分子束本質(zhì)——分子軌跡視線）的概念。一般說(shuō)來(lái)，化學(xué)束外延的真正價(jià)值在過(guò)去并未得到承認(rèn)，大多數(shù)熟悉這種技術(shù)的人都發(fā)現(xiàn)化學(xué)束外延很復(fù)雜，并且上世紀(jì)90年代化學(xué)束外延的各種優(yōu)勢(shì)的結(jié)合未被*挖掘，而這種結(jié)合卻是現(xiàn)在制造復(fù)雜設(shè)備的關(guān)鍵所在。目前，我們代理的設(shè)備是經(jīng)過(guò)20年的持續(xù)不斷研發(fā)，將設(shè)簡(jiǎn)單易用、工藝優(yōu)化、所有的優(yōu)點(diǎn)和設(shè)施集中于一套可靠的設(shè)備中。

       實(shí)驗(yàn)證明化學(xué)束外延具有顯著的優(yōu)點(diǎn)，例如：

•    可控多元素材料沉積及摻雜，例如GaAsInP

•    6’’襯底均勻性：無(wú)旋轉(zhuǎn)+/-1.5%，旋轉(zhuǎn)+/-0.5%                     •    沉積大面積薄膜：直徑100mm - 450mm或更大

•    前驅(qū)體轉(zhuǎn)化率高，生長(zhǎng)速率10 nm/h至20μm/h                       •    歐盟項(xiàng)目支撐: 3D-DEMO, NUOTO, NANOBIUM

•    已經(jīng)商業(yè)化薄膜: TiO₂, Al₂O₃, Ta₂O₅, Nb₂O₅, HfO₂            •    超高真空原位診斷技術(shù)、自組裝結(jié)構(gòu)、工藝溫度很低

•    可以一步實(shí)現(xiàn)復(fù)雜形狀和（成分/厚度）梯度薄膜材料    •    無(wú)氣相反應(yīng)、工藝靈活（從外延生長(zhǎng)到高度多孔材料）

設(shè)備配置：

1.       熱漆外框架容納所有元件，標(biāo)準(zhǔn)RAL7035顏色；          2.       支持多達(dá)6種前驅(qū)體，專有熱源技術(shù)可達(dá)200℃；

3.       主要反應(yīng)腔體采用可調(diào)熱內(nèi)壁，圓柱形液氮冷阱圍繞樣品臺(tái)；可遠(yuǎn)程控制，電腦監(jiān)控各種參數(shù)；

4.       輻射加熱襯底溫度可達(dá)700℃，其他加熱器支持襯底溫度可達(dá)1400℃；

5.       真空系統(tǒng)用組合泵：250l/s分子泵+10m³/h干泵；       6.       配備全自動(dòng)Load-Lock，等離子體清洗功能可選。

7.       在樣品生長(zhǎng)過(guò)程中激光/電子/離子束輻照單元。

8.      可逆組裝：（無(wú)襯底旋轉(zhuǎn)）均勻性優(yōu)于±2%，（有襯底旋轉(zhuǎn)）均勻性優(yōu)于+/-0.5%；組合配置用以生長(zhǎng)梯度樣品：

         厚度梯度支持1個(gè)前驅(qū)體，化學(xué)成分梯度支持2-6個(gè)。兩種方式通過(guò)程序控制切換。