勻膠旋涂儀Spin Coater 型號:WS-650Mz-23NPPB庫號：M406433 查看hh
一、設(shè)備用途和特點：
1、用途：主要用微細加工、半導(dǎo)體、微電子、光電子和納米技術(shù)工藝中在硅片、陶瓷片上勻膠等工藝與光刻、烘烤等設(shè)備配合使用。設(shè)備能滿足各類以下尺寸的基片處理要求，并配制相應(yīng)的托盤夾具。驗收除按賣方提供的標準基片外，另外可根據(jù)買方要求的 10mm 的碎片和 4 英寸的晶圓片等驗
勻膠旋涂儀Spin Coater 型號:WS-650Mz-23NPPB
庫號：M406433 查看hh
一、設(shè)備用途和特點：
1、用途：主要用微細加工、半導(dǎo)體、微電子、光電子和納米技術(shù)工藝中在硅片、陶瓷片上勻膠等工藝與光刻、烘烤等設(shè)備配合使用。設(shè)備能滿足各類以下尺寸的基片處理要求，并配制相應(yīng)的托盤夾具。驗收除按賣方提供的標準基片外，另外可根據(jù)買方要求的 10mm 的碎片和 4 英寸的晶圓片等驗收試驗要求。
2、特點：
（1）外觀整潔、美觀，占地面積小，節(jié)省凈間的使用面積；（2）材質(zhì)易于清洗和維護，設(shè)備結(jié)構(gòu)布局合理，用戶操作、使用、維
修方便；（3）采用成熟、的系統(tǒng)結(jié)構(gòu)方式，確保設(shè)備工作的性；
（4）設(shè)備具備高性能、低故障率、長使用壽命、易操作維修、造型美觀、售后服務(wù)完備。
二、 設(shè)備配置明細
設(shè)備具體配置如下
POS. QTY. PART DESCRIPTION
項目號 數(shù)量 部件名稱 描述
1 1 勻膠機主機 WS?650Mz?23NPPB
勻膠機主機
2 1 真空泵 Vacuum Pump Rock300
配套真空泵浦 Rock300
3 1 真空托盤 Spinner Chuck 50~150mm
勻膠托盤 50~150mm
4 1 真空托盤 Spinner Adapter 10~50mm
勻膠轉(zhuǎn)接托盤 10~50mm
5 1 系統(tǒng)附件 含密封圈若干、標準樣片、水平儀、連接管
若干
6 1 操作軟件 Spin 3000 Software
Spin 3000 操作軟件
7 1 安裝文檔 Installation Documents
安裝文檔
三. 設(shè)備技術(shù)資料
勻膠機臺
1． 系統(tǒng)概述
1.1智能嵌鎖，系統(tǒng)蓋板具有智能嵌鎖裝置，確保操作；
1.2防腐裝置；
1.3*設(shè)有保護氣體裝置：旋涂過程中對旋轉(zhuǎn)馬達進行氣流保護；
1.4通信接口，藍牙連接
2． 處理腔體
2.1處理腔體內(nèi)徑不小于 9.5 英寸 (241 毫米)；
2.2* Wafer 芯片尺寸至少滿足10?150mm 直徑的材料，方片125x125mm，
無需更換片托；
2.3腔體具有易清潔的 NPP 天然聚丙烯材質(zhì)；
3． 旋轉(zhuǎn)馬達
3.1轉(zhuǎn)動速度至少滿足 0?12,000rpm，
3.2旋涂加速度不小于 12,000rpm/sec；
3.3馬達旋涂轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性能誤差不過±1%；4． 控制系統(tǒng)
4.1工藝時間設(shè)定范圍至少滿足 1?5999.9 sec/step ，精度不過 0.1s；
4.2配有高精度 PLC 可編程的控制器，設(shè)置點精度小于 0.006%；
4.3可存儲不少于 20 個程序段，每個程序段可設(shè)置不少于 51 個不同步驟的速度狀態(tài)；
4.4*分辨率要小于 0.5RPM，重復(fù)性誤差要小于±0.5RPM，具有標準，并且無需再校準；
5． 配套泵浦
5.1配套真空泵系統(tǒng)：無油型 220~240 伏交流，50/60 赫茲；
5.2真空吸附范圍 25?28 英寸柱 (~635?711 毫米柱)可調(diào)節(jié)，抽速不小于 4.5 SCFM (0.11 立方米/分鐘) ；
6． 系統(tǒng)附件
6.1*贈送基于 Windows 的操作軟件；
6.2水平測試儀；
6.3兩袋密封圈；
*配有兩套可更換的廢液接收單元；
四.設(shè)備運行條件
4?1．設(shè)備外圍條件要求
1. 環(huán)境要求
a) 無塵室 1000 級或者
b) 溫濕度 溫度：22±3°C°C
濕度：45 ~ 70%
c) 安裝維護距離 與其他設(shè)備或者墻面距離≥30cm
d) 設(shè)備尺寸以及重量 長寬高：420mm x 380 mm x 290mm
重量：15kg
2. 電力要求 220 V±10%, 16 A, 50 Hz
3. 動力要求
a) 真空 25~28 Inches Hg
b) 氮氣 60?70 PSI
c) 干燥空氣 60?70 PSI
五.售后服務(wù)
5?1. 設(shè)備保修期為設(shè)備驗收合格后 1 年(保修期內(nèi)提供非人為因素損
壞的備件及服務(wù))，并長期提供技術(shù)支持。
5?2 機器發(fā)生故障時,供方在 24 小時內(nèi)明確回復(fù)。
5?3 如果未能解決問題,供方工程師應(yīng)在 2 個工作日內(nèi)與用方達成故障解決
方案。
5?4 設(shè)備保修期內(nèi)，損壞的備件原則上賣方應(yīng)在 1 個工作日內(nèi)明確回復(fù)備
件的交貨期限。并當供方倉庫有備件庫存時,在 1 個工作日內(nèi)寄出。
5?5 保修期結(jié)束后，供方應(yīng)在收到買方定單后 1 個工作日內(nèi)明確回復(fù)備件
的交貨期限。
5?6 保修期結(jié)束后，供方應(yīng)優(yōu)惠供應(yīng)相關(guān)備件。涉及的相關(guān)技術(shù)服務(wù)盡量
解決，不可避免的收費項目，賣方應(yīng)提供優(yōu)惠，屆時協(xié)商解決。
5?7 供方承諾向用方長期優(yōu)惠供應(yīng)設(shè)備相關(guān)的耗材。
5?8 售后服務(wù)，人員安排由雙方協(xié)商確定。
5?9 針對中國客戶操作員頻繁更換的特點，公司每年提供所在城市的設(shè)備巡檢服務(wù)，檢查設(shè)備潛在故障和隱患，培訓(xùn)新操作人員。
