我公司提供大面積多晶光學(xué)級(jí)金剛石窗口（100-150mm）解決方案：
步：生長(zhǎng)
1. 襯底準(zhǔn)備，包括：選材、襯底表面處理、晶種及相關(guān)工藝
2. 生長(zhǎng)控制：采用CVD設(shè)備，將準(zhǔn)備好的襯底放入樣品臺(tái)，在適當(dāng)?shù)墓に嚄l件下生長(zhǎng)（控制功率、氣壓、流量、襯底溫度、生長(zhǎng)時(shí)間）。
3. 生長(zhǎng)完成：在獲得設(shè)定的厚度后停止生長(zhǎng)
可獲得光學(xué)級(jí)（透過(guò)率＞68%@10.6μm）、大面積（直徑100-150mm）、厚片（1.2-2mm）
第二步：拋光
采用專門的 拋光設(shè)備+特制 拋光液進(jìn)行研磨、磨平、拋光。
可獲得：1) 單晶表面粗糙度1nm，平整度0.2波長(zhǎng)；2）多晶窗口表面粗糙度20-50nm，平整度0.2波長(zhǎng)。
第三步：切割
采用專用激光切割機(jī)，可獲得長(zhǎng)方形、三角形、圓片等規(guī)則高精度形狀光學(xué)元件。
第四步：鍍膜
采用多種物理氣相沉積手段，可以實(shí)現(xiàn)高品質(zhì)增透膜。
可獲得：1）透過(guò)率>90% (1064nm)；2）透過(guò)率>96%（10.6μm）
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