SSP3310LED外延片RC測(cè)試儀
實(shí)現(xiàn)功能：該系統(tǒng)主要為外延片生產(chǎn)過程中電參數(shù)異常監(jiān)控而設(shè)計(jì) ，配有微調(diào)的探針平臺(tái)和高清的電子顯微鏡 ，可以方便準(zhǔn)確的點(diǎn)亮外延片 ，探針采用有彈性的鎢鋼針不易劃傷外延片，鎢鋼材料不易氧化造成接觸電阻過大。能夠方便準(zhǔn)確的得出外延片的電性能參數(shù)。
主要技術(shù)指標(biāo)
功率輸出： | |
電流輸出范圍 | 0～3A |
電壓輸出范圍 | 0～30V |
電壓輸出 | |
電源效應(yīng) | ≤0.01%+3mV |
負(fù)載效應(yīng) | ≤0.01%+3mV(I≤3A)/≤0.01%+5mV(I>3A) |
恢復(fù)時(shí)間 | ≤100us(50% load change,minimum load 0.5A) |
漣波和噪聲 | ≤1mV rms(I≤3A)(5Hz~1MHz)/≤2mV rms(I>3A)(5Hz~1MHz) |
溫度系數(shù) | ≤100ppm/℃ |
設(shè)定精度 | ±(0.03% of reading + 10mV)(25±5℃) |
設(shè)定分辨率 | 1mV |
電流輸出 | |
電源效應(yīng) | ≤0.01%+3mA |
負(fù)載效應(yīng) | ≤0.01%+3mA(I≤3A)/≤0.01%+5mA(I>3A) |
漣波和噪聲 | ≤3mA rms(I≤3A)/≤6mA rms(I>3A) |
設(shè)定精度 | ±(0.1% of reading + 0.1% of FS)(25±5℃) |
設(shè)定分辨率 | 0.1mA(10A以上分辨率1mA) |
顯微鏡指標(biāo) | |
像素 | 1200萬像素 |
對(duì)焦距離 | 5cm-15cm |
幀頻 | 30f/s(600lus亮度下) |
顯示屏尺寸 | 5英寸 |
三維平臺(tái)指標(biāo) | |
XY行程 | 6.5mm |
Z行程 | 10 mm |
最小刻度 | 0.01mm |
平行度 | 0.04mm |
適用外延片規(guī)格 | |
外延片規(guī)格 | 2/4寸片藍(lán)綠 |
技術(shù)要求 | 已經(jīng)做好測(cè)試電極 |
