混合熱式氣體質(zhì)量流量控制器AC-M100C:AC模擬型和DC數(shù)字型的氣體質(zhì)量流量控制器也在等離子清洗設(shè)備中廣泛使用,設(shè)備對氣體質(zhì)量流量控制器的穩(wěn)定性和重復(fù)性要求*,產(chǎn)品耐壓能達(dá)5Mpa,產(chǎn)品精度可達(dá)±1%F.S,重復(fù)性和線性精度穩(wěn)定。
混合熱式氣體質(zhì)量流量控制器AC-M100C:采用全新的進(jìn)口傳感技術(shù)以及高精度的機(jī)械加工技術(shù),能實(shí)現(xiàn)微小流量測量和控制,其特點(diǎn)是可靠性高、重復(fù)性好,壓損小,無可動(dòng)部件,量程比寬,響應(yīng)時(shí)間較快,測量精度高,無需要溫度壓力補(bǔ)償,廣泛應(yīng)用于輕工化工環(huán)保及半導(dǎo)體等工業(yè)部門的空氣、氧氣、氬氣、氮?dú)獾葰怏w的檢測和控制。