HVA 真空層流閘閥 13000系列 產(chǎn)品特點:
1. 氣動驅(qū)動
2. 不銹鋼焊接波紋管
3. 標準或者定制法蘭
4. 電磁閥控制并帶有手動超控
5. 兩個分開的支架可以實現(xiàn)99%電導(全開)或者0%電導(全關)
6. 在打開的位置,一個流孔從流動路程和所有內(nèi)部部件是隔離開的。這個孔口提供了一個通過發(fā)力的清潔的連續(xù)的流動路程并且減少了和任何一個閥體裝置的工業(yè)廢氣接觸.
7. 關閉位置使用一個傳統(tǒng)的密封膠圈以產(chǎn)生1x10E-9Torr的真空密封.
8.線性驅(qū)動允許使用焊接波紋管來密封驅(qū)動器并且減少旋轉(zhuǎn)密封圈的必要性。
9. 閥體和所有主要內(nèi)部部件在1100 ℃, 1x10E-6Torr的真空爐中焊接的, 確保了的完整性. 這就減少在傳統(tǒng)的焊接波紋管閥門里發(fā)現(xiàn)的虛漏和缺陷了.
10.在保養(yǎng)方面, 支架部分可以拆掉而不用把真空閘閥從整個系統(tǒng)中拆卸出來。