nEXT渦輪分子泵是一種帶有復(fù)合牽引級和機(jī)載式控制器的混合軸承渦輪分子泵,抽速的范圍為47 ls-1至400 ls-1。它們?nèi)渴褂糜来派陷S承,能夠消除轉(zhuǎn)子頂部的碳?xì)浠衔?,同時使用油潤滑下軸承,實現(xiàn)可靠的高速操作。機(jī)載控制器與TIC和TAG控制器直接通訊,可提供低成本系統(tǒng)集成。nEXT型號還允許用戶自主更換軸承和油盒,以降低運行成本。
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