INFICON（英福康）真空規(guī)/真空計
B-A 型皮拉尼電容膜片真空計
TripleGauge® BCG450
INFICON B – A 型皮拉尼電容薄膜真空計，BCG450，將三種不同的真空計
組合在一個小型，經濟的真空規(guī)管中，測量過程壓強和基本壓強 5 x 10-10
** 1500 毫巴 （3.75 x 10-10 ** 1125 乇）. BCG450 用于取代三種傳感器
（熱離子，對流增強型皮拉尼和真空開關），從而節(jié)省成本和寶貴的工具空間.
優(yōu)勢
■ BCG450 節(jié)省成本和設備空間，降低真空測量的安裝與設置的復雜性
■ 10 乇以上的與氣體類型無關的壓強測量，對許多混合氣體提供****的 自鎖控制
■ 皮拉尼聯(lián)鎖保護熱燈絲，防止過早燒毀
■ 自動的高真空和**壓皮拉尼調整，無需操作人員干預
■ 相對于**壓的差壓測量，免除了與**壓變化有關的不穩(wěn)定性
■ 傳感元件容易**換，內置校準數據保證數據的再現性
■ 可選圖形顯示器和 Fieldbus 接口
用途
■ 半導體工藝，傳送和自鎖室的壓強測量
■ 工業(yè)鍍膜
■ 低****高真空范圍中系統(tǒng)的一般真空測量和控制
