設(shè)備主要配置:技術(shù)指標(biāo)
規(guī)格型號 | PHOENIX Quadro TRIVAC D2.5E |
真空模式可檢測的氦泄漏率 | 5x10-12mbar l/s |
響應(yīng)時間 | <1 s |
入口壓力 | 15 mbar |
抽氦速度ULTRA | >3.1 l/s |
可檢測的氣體 | 4He、H2、質(zhì)量數(shù)3 |
吸槍-模式可檢測的氦泄漏率 | 1x10-8mbar l/s |
吸槍SL300的氣流量 | 20-25 sccm |
測量范圍 | 12個數(shù)量級 |
啟動時間 | 110 s |
離子源 | 雙燈絲 |