水冷板-真空箱氦檢漏回收系統(tǒng)
回收系統(tǒng)部分
真空箱部分本設(shè)備適用對(duì)水冷板(以下簡(jiǎn)稱工件)進(jìn)行干式檢漏。主要具有以下功能:
對(duì)被檢工件抽真空保壓檢大漏;
對(duì)被檢工件充注氦氣;
真空箱法氦質(zhì)譜檢測(cè),自動(dòng)判斷工件漏率合格與不合格;
回收并循環(huán)使用氦氣;
PLC控制,觸摸屏操作,自動(dòng)檢測(cè)。
系統(tǒng)技術(shù)參數(shù)
檢測(cè)漏率:5×10-8Pa.m3/S;
真空箱工作節(jié)拍:180S/兩箱,每箱放2件,含人工操作時(shí)間20s;
檢漏儀開(kāi)檢(真空箱內(nèi))壓力:≤20pa;
氦氣回收率:≧98%;
工件抽空真空度:≤1000pa;