SF6分解產(chǎn)物檢測：
氫氣（H2）、氧氣（O2）、氮氣（N2）、四氟化碳 (CF4)、一氧化碳(CO)、二氧化碳（CO2）、六氟乙烷（C2F6）、八氟丙烷（C3F8）、硫酰氟(SO2F2)、亞硫酰氟（SOF2）、二氧化硫 (SO2)、硫化氫 (H2S)、羰基硫（COS）、二硫化碳（CS2）
滿足標準：
GB/T 28726-2012氣體分析 氦離子化氣相色譜法
DL/T 920-2005 六氟化硫氣體中空氣、四氟化碳的氣相色譜測定法
檢測范圍及檢測限：
產(chǎn)物種類 | 檢測限（µmol/mol） | 產(chǎn)物種類 | 檢測限（µmol/mol） |
H2 | 0.05 | SO2F2 | 0.1 |
O2 | 0.05 | SOF2 | 0.1 |
N2 | 0.05 | SO2 | 0.1 |
CH4 | 0.05 | H2S | 0.1 |
CF4 | 0.05 | COS | 0.1 |
CO | 0.05 | CS2 | 0.1 |
CO2 | 0.05 | C3F8 | 0.05 |
C2F6 | 0.05 |
E•Prod GC-7860 PDHID型氦離子化氣相色譜儀是上海宜友電子科技有限公司整合技術(shù)，在GC-7860 氣相色譜儀基礎(chǔ)上經(jīng)過二次開發(fā)，專為ng/g級分析檢測而設(shè)計的一款高靈敏度通用型氣相色譜儀。該機型配備VALCO公司生產(chǎn)的PDHID檢測器，采用上海宜友公司*的自動切割技術(shù)。是一套靈敏度，分離的氣相色譜分析系統(tǒng)，特別適用于高純氣體和各種電子工業(yè)氣的痕量分析檢測。
氣體工業(yè)是國民經(jīng)濟的基礎(chǔ)行業(yè)，隨著國民經(jīng)濟的快速發(fā)展，氣體工業(yè)特別是高純氣體和電子用氣體行業(yè)也蓬勃發(fā)展。氣體中微量雜質(zhì)的分析是生產(chǎn)高純氣體和電子工業(yè)用氣的必要環(huán)節(jié)，而這些氣體中微量雜質(zhì)的分析一直是色譜分析的難點之一。
目前國內(nèi)在高純氣體分析領(lǐng)域多數(shù)采用的熱導(dǎo)（TCD）檢測器由于靈敏度有限，很難測定5ppm以下的雜質(zhì)；氧化鋯檢測器由于是一種選擇性的檢測器，只能分析少數(shù)幾種氣體雜質(zhì)；而氬離子檢測器又往往帶有放射源。均不能很好的滿足高純氣體分析的基本要求。隨著國內(nèi)高純氣體行業(yè)的發(fā)展和氣體用戶對氣體純度的要求越來越高，以上幾種檢測器已經(jīng)不能滿足對高純氣體中微量雜質(zhì)檢測的要求。
瑞士VALCO公司生產(chǎn)的PDHID檢測器（脈沖放電氦離子檢測器）是一種靈敏度*的通用型檢測器，對幾乎所有無機和有機化合物均有很高的響應(yīng)，特別適合氣體的分析，是能夠檢測至ng/g（ppb）級的檢測器。
1. 系統(tǒng)具備多閥多柱的中心切割與反吹技術(shù)，由多個進樣閥和多根色譜聯(lián)合組成
2. 分解產(chǎn)物檢測指標能夠檢測至μg/g（ppb）級。
3. 可應(yīng)用于現(xiàn)場連續(xù)檢測。
4. 最小檢測濃度μg/g（ppb） H2、O2、N2、CF4 CO、CO2、C2F6、C3F8≤50；
SO2F2、SOF2、SO2、H2S、COS、CS2≤100
5. 專用載氣純化器，去除氣體：H2、O2、N2、CO、CO2、CH4、H2O、NO、NH3、CF4等，殘留濃度：≤10ppb
6. 工作電源AC 220（1±10%）V，50±1 Hz
基線漂移:≤0.2 mV/30min
噪聲≤0.1mV
穩(wěn)定時間≤100min
線性度<±0.1%
重現(xiàn)性0.06％
