1579A高流量質(zhì)量流量計 控制器
例: 型號1579A01332LR1BV
校準(zhǔn)氣體(SEMI氣體編號)*
Helium, He 1
Argon, Ar 4
Hydrogen H2 7
Nitrogen, N2 13
Oxygen, O2 15
流量校準(zhǔn)SLM (相當(dāng)?shù)獨(dú)?00SLM)
50 51L
100 12L
200 22L
300 32L
裝配件
Swagelok 8 VCR R
Swagelok 8 VCO G
12 mm Swagelok M
½” Swagelok S
DN 16 KF D
Swagelok 4 VCR (僅有50 slm) V
閥
常閉 1
連接器
模擬15 針 D B
數(shù)字Profibus DP 4
密封材料
Viton V
Buna-N B
Neoprene N
Kalrez K
固化軟件 (僅有Profibus) XX
型號CB147-12-10用來將1579A 9 針 D型連接到PR4000, 146, 186, 246, 167, 647
型號CB259-12-10用來將1579A 9 針 D型連接到PR4000, 146, 186, 246, 167, 647