一、ICP-700型光譜儀技術(shù)性能指標(biāo)及儀器特點(diǎn)
1. 射頻發(fā)生器（RF）：
電路類型 | 電感反饋式自激振蕩電路，全自動點(diǎn)火，同軸電纜輸出匹配調(diào)諧，取功率反饋，進(jìn)行閉環(huán)自動控制。 | 工作頻率 | 40.68MHZ±0.05% |
頻率穩(wěn)定性 | <0.1% | ||
輸出功率 | 800－1500w | ||
輸出功率穩(wěn)定性 | ≤0.3% | ||
電磁場泄漏射強(qiáng)度 | 距機(jī)身30cm | ||
電場強(qiáng)度E | <1V/m | ||
磁場強(qiáng)度H | <0.2A |
2、進(jìn)樣系統(tǒng):
輸出工作線圈內(nèi)徑 | 25mm， | 炬管 | 三重同心石英炬管 |
同軸型噴霧器外徑 | 6mm | 雙筒形霧室外徑 | 35mm |
氬氣流量計規(guī)格和載氣壓力表規(guī)格 | 等離子氣流量計（100-1000）L/h ；(1.6-16L/min) | ||
輔助氣流量計（10-100）L/h ；(0.16-1.66L/min) | |||
載氣流量計（10-100）L/h ；(0.16-1.66L/min) | |||
載氣穩(wěn)壓閥（0-0.6M Pa） | |||
3、測光系統(tǒng):
| 光電倍增管規(guī)格 | R212UH | 信號采集為V/F交換 | 1mV對應(yīng)100Hz |
| 光電倍增管負(fù)高壓 | 200-1000V 穩(wěn)定性<0.05% | 光電倍增管電流測量范圍 | 10-12 -10-4A |
4、分光系統(tǒng):
光路 | Czerny- Turner | 焦距 | 1000mm |
光柵規(guī)格 | 離子刻蝕全息光柵 | 刻線密度 | 3600線/mm |
分辨率 | ≤0.008nm | 刻線面積 | 80×110mm |
掃描波長范圍 | 3600線/mm | 波長范圍 | 180-500 nm |
透鏡 | ф30，1：1成像 | 入射狹縫 | 20µm |
發(fā)射鏡規(guī)格 | （78× 105 × 16）mm | 出射狹縫 | 20µm |
步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動最小步距 | 0.0005nm | ||
5、儀器特點(diǎn)：
A、射頻發(fā)生器的高壓供電回路，采用*的電子技術(shù)，采用功率閉環(huán)反饋技術(shù)，控制精度小于0.1% 。
B、全自動點(diǎn)火 氣路智能控制，實(shí)現(xiàn)軟件點(diǎn)火，更安全、更方便。
C、安全冷卻水保護(hù)、氬氣保護(hù)、過壓、過流、滅弧保護(hù)更安全。
D、輸出功率自動匹配調(diào)諧，功率參數(shù)軟件程序設(shè)定。
E、分光器內(nèi)充氬氣，使波長在180nm的硫和189nm的Sn得到很靈敏的測量效果。
F、優(yōu)良的光學(xué)系統(tǒng)，*的控制系統(tǒng)，保證峰位定位準(zhǔn)確，信背比優(yōu)良、極小的基體效應(yīng)。
G、對不同樣品有多種進(jìn)樣系統(tǒng)可以 選擇(普通進(jìn)樣系統(tǒng)、耐高鹽等進(jìn) 樣系統(tǒng))；
三、綜合技術(shù)參數(shù)
射頻發(fā)生器（RF）
(1) 電路類型：自激振蕩電路，全自動電腦軟件點(diǎn)火，所有功能實(shí)現(xiàn)電腦軟件控制(點(diǎn)火、熄火、功率等參數(shù)設(shè)置)；實(shí)時功率控制；自動匹配調(diào)諧；
(2) 工作頻率：40.68MHZ±0.05%
(3) 頻率穩(wěn)定性：<0.1%
(4) 輸出功率：700－1600w（計算機(jī)控制可調(diào)）
(5) 輸出功率穩(wěn)定性：≤0.3%
(6) 電磁場泄漏輻射強(qiáng)度：距機(jī)身300mm 電場強(qiáng)度E:<2V/m
進(jìn)樣裝置:
(1) 輸出工作線圈內(nèi)徑25mm，3匝
(2) 炬管：外徑20mm的石英炬管
(3) 同軸型噴霧器外徑6mm 石英霧化器
(4) 雙筒形霧室外徑35mm
(5) 氬氣流量計規(guī)格和載氣壓力表規(guī)格：
①、 等離子體流量計（150-1500）L/h ；
②、 輔助氣流量計（6-60）L/h ；
③、載氣穩(wěn)壓閥（0-0.4MPa）
④、儀器內(nèi)設(shè)氬氣二次穩(wěn)壓閥（0.3MPa）
測光裝置:
(1) 光電倍增管規(guī)格： CR293-01
(2) 光電倍增管負(fù)高壓：200-1000V ，穩(wěn)定性<0.05%
(3) 光電倍增管電流測量范圍：10-12 -10-4A
(4) 信號采集為V/F交換：1mV對應(yīng)100Hz
分光器:
(1) 光路: Czerny-Turner
(2) 焦距: 1000mm
(3) 光柵規(guī)格：離子刻蝕全息光柵，刻線密度3600線/mm，
刻線面積: 80×110mm，線色散率倒數(shù)：0.26nm
(4) 波長范圍：190-500nm
(5) 分辨率: ≤0.008nm
(6) 掃描波長范圍3600線/mm 掃描波長范圍：190-500nm
(7) 步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動最小步距：0.0006nm
(8) 入射狹縫：20µm 出射狹縫：25µm
(9) 發(fā)射鏡規(guī)格：（78 × 105 × 16）mm
(10) 透鏡ф30，1：1成像
(11) 掃描方式：單道掃描型
（12）光室恒溫：30°
（13）光室充氣：氬氣
四、整機(jī)技術(shù)指標(biāo)：
- 測量波長范圍：
180-500nm 3600L/mm光柵
180-800nm 2400 L/mm光柵
- 測量精度（重復(fù)性）：平均相對標(biāo)準(zhǔn)偏差RSD≤1%
- 測量穩(wěn)定性：平均相對標(biāo)準(zhǔn)偏差RSD≤2
- 檢出下限：亞PPb級
