Mahr 度量*的技術(shù)實(shí)現(xiàn)一步完成輪廓和粗糙度測(cè)量。MarSurf LD 130 和 LD 260 測(cè)量站經(jīng)過(guò)系統(tǒng)化的設(shè)計(jì)以利用代設(shè)備的經(jīng)驗(yàn)。
一步完成粗糙度和輪廓測(cè)量
高測(cè)量和定位速度可大幅減少測(cè)量時(shí)間
刪除創(chuàng)新的測(cè)頭系統(tǒng)
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快速可靠的測(cè)桿更換,磁性支架同步檢測(cè)測(cè)桿
長(zhǎng)測(cè)量長(zhǎng)度,高達(dá) 260 mm (MarSurf LD 260),測(cè)量行程 13 mm(100 mm 測(cè)桿長(zhǎng)度)或 26 mm(200 mm 測(cè)桿長(zhǎng)度)
模塊結(jié)構(gòu),方便維護(hù)
維護(hù)時(shí)無(wú)需*拆卸測(cè)量立柱
測(cè)量速度(文本) | 0.02 mm/s 至 10 mm/s; 粗糙度測(cè)量; 推薦 0.1 mm/s 至 0.5 mm/s |
掃描長(zhǎng)度末尾(X 方向) | 130 mm |
分辨率 | 0.8 nm |
掃描長(zhǎng)度開(kāi)始(X 方向) | 0.1 mm |
定位速度(文本) | 0.02 mm/s 至 200 mm/s |
測(cè)量范圍 mm | 13 mm (100 mm probe arm) 26 mm (200 mm probe arm) |
掃描長(zhǎng)度(文本) | 0.1 mm - 130 mm 或 260 mm |
測(cè)量力 (N) | 0.5 mN 至 30 mN,可軟件調(diào)整 |