儀器簡(jiǎn)介:
橢圓偏振光譜技術(shù)是近年來(lái)隨著現(xiàn)代科技的發(fā)展而迅速發(fā)展起來(lái)的光學(xué)無(wú)損檢測(cè)方法,在材料、信息、化學(xué)、物理、生命科學(xué)等領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用前景。它已越來(lái)越多的用于介電、半導(dǎo)體、金屬、有機(jī)物等各種材料的光學(xué)特性、結(jié)構(gòu)特征、生長(zhǎng)過(guò)程和材料質(zhì)量的快速測(cè)試與研究。儀器采用消光式橢圓偏振方式測(cè)量,精度高、自動(dòng)控制,光源采用氦氖激光,波長(zhǎng)精度高,儀器采用USB接口與電腦連接,配套軟件對(duì)采樣數(shù)據(jù)具有多種處理方式,適用于不同需要,軟件有完整版及學(xué)生版兩種版本,適于教學(xué)要求。
實(shí)驗(yàn)內(nèi)容:
1、了解并熟悉儀器的工作原理和性能
2、掌握如何利用設(shè)備測(cè)試樣品的方法
主要配置和參數(shù):
序號(hào) | 名稱 | 規(guī)格和參數(shù) |
1 | 測(cè)量范圍 | 1nm-4000nm |
2 | 測(cè)量最小值 | ≤1nm |
3 | 鍍膜折射率范圍 | 1.300-10.000 |
4 | 入射角 | 40°-90°誤差≤0.05° |
5 | 偏振器方位角讀數(shù)范圍 | 0°-180° |
6 | 偏振器步進(jìn)角 | 0.0375°/步 |
7 | 測(cè)量精度 | ±0.5nm(10nm,±0.5nm) |
8 | 光學(xué)中心高度 | 75mm |
9 | 工作臺(tái)直徑 | Φ10mm-Φ120mm |
10 | 厚度 | ≤10mm |