詳細(xì)信息
自適應(yīng)光學(xué)元件,可變形反射鏡,波前傳感器
自適應(yīng)光學(xué)元件套件
自適應(yīng)光學(xué)元件套件是一種完整的自適應(yīng)光學(xué)元件成像方案,它包含一個可變形反射鏡、一個波前傳感器、控制軟件和裝配所需的光力學(xué)元件。這些小型精密波前控制器件在光束形成、顯微、激光通訊和視網(wǎng)膜成像中有具有重作用。其中有帶有140或32個致動器的鍍金膜或鋁膜的可變形反射鏡,以及基于15赫茲CCD或450赫茲CMOS Shack-Hartmann波前傳感器可供選擇。
特性
完整的套件和軟件提供開箱即用的波前測量和控制
套件包括
·連續(xù)可變形反射鏡
·Shack-Hartmann波前傳感器
·激光二極管模塊(635納米)
·所有所需的成像光學(xué)元件和相關(guān)安裝硬件
·適用于Windows操作系統(tǒng)的功能全面的獨(dú)立控制軟件
·SDK可以為終端用戶提供定制應(yīng)用
我們根據(jù)下列規(guī)格提供8種套件:
·鍍鋁膜或金膜的可變形反射鏡
·帶32或140個致動器的可變形反射鏡
·15赫茲CCD或450赫茲CMOS Shack-Hartmann波前傳感器
MEMS可變形反射鏡
·6 x 6(Mini-DM)或12 x 12(Multi-DM)致動器類型可供選擇
·3.5微米致動器位移
·可達(dá)3.5千赫茲的高速操作
·400微米中心對中心致動器間距,致動器間的低耦合效應(yīng)可實(shí)現(xiàn)高空間分辨率
·零磁滯致動器位移
·14位驅(qū)動電路可實(shí)現(xiàn)亞納米量級的重復(fù)性
·內(nèi)置高電壓電源的緊湊型驅(qū)動電路,適用于工作臺或OEM集成
Boston Micromachines Corporation(BMC)公司提供迷你型和多重型基于微機(jī)電(MEMS)技術(shù)的可變形反射鏡,作為我們自適應(yīng)光學(xué)元件套件中的部件。這些可變形反射鏡(DM)極其適合高級光波波前控制;他們可以對高度變形的波前進(jìn)行單色像差(球差、彗差、象散、場曲或畸變)校正。目前,MEMS可變形反射鏡是波前整形應(yīng)用中泛應(yīng)用的器件,該反射鏡技術(shù)成熟、用途廣泛,具有高分辨率的波前校正性能。
MEMS可變形反射鏡結(jié)構(gòu)
可變形反射鏡采用多晶硅表面微加工制作工藝進(jìn)行制作,經(jīng)過簡易包裝,可以提供復(fù)雜的像差補(bǔ)償。該反射鏡包含一個反射鏡薄膜,它通過32個靜電致動器(對應(yīng)Mini-DM,一個6 x 6 致動器陣列,四角上為四個閑置致動器)或140個靜電致動器(對于Multi-DM,一個12 x 12 致動器陣列,四角上為四個閑置致動器)進(jìn)行變形。這些致動器可以提供3.5微米的行程(632.8納米下可以通過11個波前),并且具有零磁滯特性。
這些反射鏡可以鍍金反射膜鋁反射膜每個反射鏡都用一個6°楔形保護(hù)窗進(jìn)行包裝,該窗口鍍有對應(yīng)400-1100納米波長范圍的增透膜。
Shack-Hartmann波前傳感器
·高靈敏度型:基于CCS,可達(dá)λ/50 RMS
·高速型:基于CMOS,可達(dá)450 Hz
·波長范圍:300 - 1100納米
·實(shí)時波前和強(qiáng)度分布測量
·接近衍射極限光斑尺寸
·可用于連續(xù)波和脈沖光源
·靈活的數(shù)據(jù)導(dǎo)入操作(Text或Excel)
·可通過TCP/IP進(jìn)行實(shí)時數(shù)據(jù)讀取
這些Shack-Hartmann波前傳感器可以探測波前中的失真,并通過可變形反射鏡進(jìn)行校正。
基于CMOS的450 Hz傳感器
CMOS技術(shù)的本質(zhì)特性使其極其適合用于快速波前傳感器。由于CMOS傳感器中每個像素都具有其自己的獨(dú)立電路,在只有部分傳感器數(shù)據(jù)被讀取的窗口技術(shù)中具有優(yōu)勢。該信號可以僅從傳感器上部分區(qū)域進(jìn)行快速讀取,而不像CCD系統(tǒng)中對整個傳感器進(jìn)行序列數(shù)據(jù)讀取。這樣一來,目標(biāo)區(qū)域(AOI)就可以被縮小從而得更高的幀速,并且可達(dá)450Hz*。在自適應(yīng)套件中采用的分辨率設(shè)置下,可以~100Hz的幀速進(jìn)行工作。
對于450 Hz的幀速,必須采用180 x 180的像素分辨率。該速度取決于計(jì)算機(jī)硬件速度,不需要圖形顯示就可以實(shí)現(xiàn),并假設(shè)符合5階澤尼克多項(xiàng)式和最小曝光時間。
130萬像素CCD傳感器
130萬像素波前傳感器具有λ/50 RMS的較高波前靈敏度,這是因?yàn)镃CD傳感器提高了空間分辨率(4.65微米的像素間距)。該傳感器以15赫茲的幀速進(jìn)行工作。