● Z軸通過電動(dòng)手脈進(jìn)行精準(zhǔn)控制(對(duì)焦精度可達(dá)0.0005mm)
● 快速釋放裝置便于測(cè)量工件大或測(cè)量工件數(shù)量多的快速移動(dòng)工作臺(tái)
● 高位目鏡觀察
● 千兆網(wǎng)口CCD圖像成像(HKVISION-300萬像素)
半導(dǎo)體測(cè)量工具顯微鏡2010技術(shù)參數(shù)
3.1主體規(guī)格
◆X坐標(biāo)行程: 300(mm)
◆Y坐標(biāo)行程: 200(mm)
◆Z坐標(biāo)行程: 150(mm)
◆X、Y坐標(biāo)測(cè)量示值誤差≤(3+L/150)µm ,L為被測(cè)長(zhǎng)度(單位:mm)
◆X、Y、Z數(shù)顯分辨率:0.001mm
◆輪廓光源:綠色LED平行光源,無極亮度可調(diào)
◆上光源:白色LED環(huán)形可調(diào)光源
3.2目視系統(tǒng)
◆雙目視鏡筒+標(biāo)準(zhǔn)的TV攝像機(jī)端口
◆物鏡:1.0-6.5X可連續(xù)變倍物鏡
◆目鏡放大倍數(shù):10X,單雙目同,可選配20X
◆總放大倍數(shù): 10X-65X(包括畸變?cè)趦?nèi)的)
◆物鏡放大倍數(shù)誤差:放大率誤差范圍在0.08%以內(nèi)
3.3影像系統(tǒng)
◆標(biāo)配CCD相機(jī)1X鏡筒
◆CCD:千兆網(wǎng)口高清晰攝像頭(HKVISION)
◆綜合影像放大倍數(shù):45X-285X
半導(dǎo)體測(cè)量工具顯微鏡2010軟件功能
l 配備專業(yè)視覺影像測(cè)量軟件,帶十字線捕捉閃爍功能,可測(cè)量二維平面尺寸(角度、直徑、半徑、點(diǎn)到點(diǎn)的距離、點(diǎn)到線的距離、線到線距離、線到圓的距離、圓到圓的距離等等);
l 圖形自動(dòng)捕捉:開啟自動(dòng)捕捉功能后,測(cè)量點(diǎn)、線、圓及圓弧,可自動(dòng)捕捉到最清晰的地方;
l 視覺拍照功能:可通過軟件抓拍實(shí)時(shí)產(chǎn)品圖片,然后保存到電腦里,并可通過軟件調(diào)出圖片進(jìn)行查看或處理;
l 標(biāo)注文字:可在實(shí)時(shí)影像中標(biāo)注文字說明;
l 公英制轉(zhuǎn)換:測(cè)量值可在公制和英制之間切換;
l X、Y清零:可用畫面十字線設(shè)置任意點(diǎn)為相對(duì)原點(diǎn),將X、Y坐標(biāo)清零;
l 測(cè)量數(shù)據(jù)輸出:可將測(cè)量數(shù)據(jù)或圖形導(dǎo)入WORD或EXCEL做報(bào)表;
l “瀏覽”窗口: 可觀察工件的全圖形并具有類似AutoCAD的縮放功能;
l 輔助功能:可把在軟件中繪制出的圖形進(jìn)行移動(dòng)、旋轉(zhuǎn)、復(fù)制、刪除,并可作任意線段的平行線、垂直線;
l 自動(dòng)兩點(diǎn)線:在單一畫面下可自動(dòng)捕捉工件的邊緣,無須以人工取線,減少人眼誤差,提高測(cè)量精度;
l 自動(dòng)三點(diǎn)圓:在單一畫面下可自動(dòng)捕捉工件的圓半徑、直徑,并繪出圖形,無須以人工取圓,減少人眼誤差,提高測(cè)量精度;
l 自動(dòng)多點(diǎn)線:自動(dòng)捕捉工件邊緣,然后根據(jù)工件邊緣擬合出圖形,從而減少兩點(diǎn)取線及人眼的誤差;
l 自動(dòng)多點(diǎn)圓:自動(dòng)捕捉工件邊緣,然后擬合出工件的孔徑,并繪出圖形,從而減少三點(diǎn)取圓及人眼的誤差;
l 自動(dòng)圓:在單一畫面下用鼠標(biāo)框中圖形,可快速自動(dòng)捕捉出圓.;
l 設(shè)定工件坐標(biāo):可以根據(jù)客戶本身的需要在影像中的實(shí)際工件上自行設(shè)定工件坐標(biāo),有兩點(diǎn)確定X軸、兩點(diǎn)確定Y軸或三點(diǎn)確定坐標(biāo)系等多種設(shè)定方法;
l 具有坐標(biāo)平移、坐標(biāo)旋轉(zhuǎn)及坐標(biāo)分中等功能:
l 坐標(biāo)標(biāo)注:可標(biāo)注工件中任意點(diǎn)的坐標(biāo)值;
l Pitch標(biāo)注:可標(biāo)注任意點(diǎn)到一條直線的垂直距離,可標(biāo)注任意兩線的垂直距離