多濃度點(diǎn)氣體稀釋裝置SSGM：配氣儀的實(shí)驗(yàn)通常運(yùn)行48小時，自動化和智能化就很重要，當(dāng)出現(xiàn)錯誤時，如設(shè)定值和實(shí)際值之間出現(xiàn)嚴(yán)重偏差，必須采取措施，智能稀釋配氣儀的優(yōu)勢是在發(fā)生故障或緊急情況時，能自動調(diào)節(jié)或遠(yuǎn)程調(diào)節(jié)，無需人為干預(yù)。作為確保實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性，因此，測試結(jié)果的重復(fù)性以及質(zhì)量流量控制器的重復(fù)性非常重要。

   多濃度點(diǎn)氣體稀釋裝置SSGM：如今的智能稀釋配氣儀已經(jīng)廣泛應(yīng)用于各行各業(yè)，如：氣體成分制造、CVD和PVD、光學(xué)玻璃鍍膜、真空技術(shù)和太陽能元器件制造及半導(dǎo)體加工工藝等。不同于市場上的許多其他智能稀釋配氣儀，SSGM系列的產(chǎn)品采用*的數(shù)字技術(shù)，提供總線接口選項(xiàng)和附加功能如累計和報警，按照用戶需求，在出廠時調(diào)整并保持精度規(guī)格，從而提高稀釋儀的準(zhǔn)確度，減少不同范圍稀釋儀的庫存，降低采購成本。包括觸摸顯示屏、CUP處理器、氣路管道、壓力傳感器、氣體流量調(diào)節(jié)閥、排風(fēng)系統(tǒng)、網(wǎng)絡(luò)接口、 電源插口、集控中心、警示燈等組合而成，本調(diào)節(jié)儀能實(shí)時獲悉氮?dú)夂蜌鍤獾牧髁考袄塾嬘昧?，使其?shí)現(xiàn)能合理地調(diào)節(jié)或控制氮?dú)獾墓┙o量，以實(shí)現(xiàn)能同時對多個溫度控制區(qū)進(jìn)行檢測，其具有檢測精度高的優(yōu)點(diǎn)。

多元?dú)怏w濃度混合儀由微處理器控制的數(shù)字化配氣系統(tǒng)，是一種高精度、高分辨率的氣體稀釋系統(tǒng)，該儀器的配氣技術(shù)和所有配件全部為本公司提供，為交鑰匙工程。氣體濃度的混合范圍連續(xù)可調(diào)，使用時用戶只需要在彩色觸摸屏上設(shè)定幾項(xiàng)數(shù)值，就能得到自己所需要的氣體濃度，氣體總流量的大小，根據(jù)使用要求，能任意調(diào)節(jié)。良好的重復(fù)性和線性能更好的保證每次配氣的精準(zhǔn)度和重復(fù)性。在控制采集間設(shè)置遠(yuǎn)程控制終端，遠(yuǎn)程操控供氣過程，對主管路壓力和各個支路壓力進(jìn)行實(shí)時監(jiān)控；在控制軟件內(nèi)可對個支路內(nèi)流量進(jìn)行實(shí)時監(jiān)控；具備遠(yuǎn)程自動控制和手動控制功能，可進(jìn)行自動閉環(huán)控制亦可開環(huán)手動控制；控制軟件在工作過程中，實(shí)時記錄各個關(guān)鍵參數(shù)（支路壓力、流量、調(diào)節(jié)開度等），并能導(dǎo)出為excel文件。