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  • RTP-6經(jīng)濟(jì)型快速退火爐

RTP-6 RTP-6經(jīng)濟(jì)型快速退火爐

參考價(jià)
面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 型號(hào)RTP-6
  • 品牌
  • 所在地
  • 更新時(shí)間2022-04-01
  • 廠(chǎng)商性質(zhì)經(jīng)銷(xiāo)商
  • 入駐年限20
  • 實(shí)名認(rèn)證已認(rèn)證
  • 產(chǎn)品數(shù)量54
  • 人氣值1297
產(chǎn)品標(biāo)簽

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凱戈納斯儀器商貿(mào)(上海)有限公司由瑞典Hot Disk有限公司,英國(guó)THT有限公司共同注資成立的。公司開(kāi)發(fā)、制造并銷(xiāo)售導(dǎo)熱系數(shù)分析儀、反應(yīng)量熱儀等世界*的*分析儀器,同時(shí)是以色列Nanonics原子力顯微鏡AFM/掃描探針電鏡SPM以及AFM+Raman+I(xiàn)R+SEM/SPM一體連用測(cè)試技術(shù)。公司在范圍內(nèi)擁有眾多系統(tǒng)用戶(hù),并在英國(guó)、美國(guó)、德國(guó)、日本等二十個(gè)國(guó)家和地區(qū)設(shè)立了分支機(jī)構(gòu)。

瑞典Hot Disk公司主要開(kāi)發(fā)、制造并銷(xiāo)售基于瞬變平面熱源技術(shù)(TPS)的熱導(dǎo)率、熱擴(kuò)散率和比熱容的測(cè)試儀器;英國(guó)THT公司是一家專(zhuān)業(yè)開(kāi)發(fā)制造量熱儀和提供化工領(lǐng)域安全咨詢(xún)和產(chǎn)品檢測(cè)服務(wù)的公司。

以色列NANONICS IMAGING LTD.是業(yè)界將近場(chǎng)光學(xué)顯微鏡(NSOM)技術(shù)和原子力顯微鏡(AFM)相技術(shù)相結(jié)合的*,NANONICS憑借著實(shí)力和品質(zhì),其產(chǎn)品涉足的領(lǐng)域從科研到工業(yè),從生物學(xué)到半導(dǎo)體,從化學(xué)制品到無(wú)線(xiàn)電通訊,應(yīng)用范圍極其廣泛。公司新近推出了材料表征連用技術(shù),包括Nanonics系列電鏡(AFM、SPM)與Renishaw拉曼光譜儀、Smith在線(xiàn)紅外技術(shù)和掃描電鏡SEM的組合一體機(jī),具有很高的性?xún)r(jià)比和競(jìng)爭(zhēng)力。


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RTP-6經(jīng)濟(jì)型快速退火爐
RTP-6經(jīng)濟(jì)型快速退火爐 產(chǎn)品詳情

RTP-6經(jīng)濟(jì)型快速退火爐

RTP-6升溫速率可達(dá)80℃/s。

RTP-6采用拋物線(xiàn)形的黃金反射面,可均勻熱處理6英寸的圓晶。該系統(tǒng)可進(jìn)行快速的熱處理,適合熱處理工藝的研究與開(kāi)發(fā)。可用于半導(dǎo)體工藝中硅化物的形成以及半導(dǎo)體化合物的過(guò)程退火。

應(yīng)用:

1. 離子注入后的活化退火

2. 沉積氧化膜的退火

3. 歐姆電極合金化

4. PZT,SBT和其它鐵電薄膜的結(jié)晶退火

5. 硅化物及自對(duì)準(zhǔn)硅化物的生成

6. 發(fā)光元件,半導(dǎo)體激光基板的熱處理

7. 超淺結(jié)的生成

8. 鐵電電容器沉積

9. 柵氧化膜的生成

特點(diǎn):

  • 快速熱處理
  • 腔體采用水冷,可進(jìn)行快速降溫
  • 真空置換氣氛后,可采用流動(dòng)氣氛進(jìn)行熱處理
  • 溫度程序設(shè)置和外部信號(hào)輸入可以通過(guò)腦輕松控制
  • 加熱過(guò)程的溫度數(shù)據(jù)也可以顯示在電腦上
  • 石英保護(hù)板(可選)可以安裝在腔室內(nèi)以防止污染
  • 配備了各種安全措施
  • 九個(gè)獨(dú)立的加熱區(qū)可實(shí)現(xiàn)不同尺寸樣品均勻的溫度控制

組成:

1. 紅外金面反射爐

2. 加熱腔

3. 可編程溫控器

4. 9個(gè)獨(dú)立的加熱區(qū)

5. 跨度變換單元

6. 氣體管路系統(tǒng)

7. 熱氣排出系統(tǒng)

8. 爐體框架,開(kāi)關(guān)板

9. 高溫計(jì)(可選)

10. 水冷機(jī)(可選)

11. 真空泵(可選)

參數(shù):

關(guān)鍵詞:電容器 真空泵
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