日本特許機器株式會社(TOKKYOKIKI)成立于1969年,是世界防振、消磁產(chǎn)品的制造商,一臺主動式除振裝置實用機由TOKKYOKIKI于1988年在日本半導體展示會上推出,TOKKYOKIKI一直致力研究,精密穩(wěn)定,堅固耐用的防振產(chǎn)品、振動分析儀器和各行業(yè)防振設(shè)備,以滿足各領(lǐng)域不同產(chǎn)業(yè)的不同需求。
αL4X-911R1主動式隔振平臺是結(jié)合了空壓(低頻)和線性馬達(高頻)的兩種優(yōu)點,專為掃描電子顯微鏡而設(shè)計的高精密隔振平臺。 本主動隔振系統(tǒng)可將影響儀器設(shè)備正常工作的安裝場地的細微振動,在所有頻率范圍內(nèi)予以全面衰減而不降低儀器設(shè)備本身具有的各項性能。 αL4X-911R1的基本原理和功能 利用加速度傳感器檢測地板的振動,通過6自由度的反饋及前饋控制的雙重主動控制,由氣動和線性馬達執(zhí)行器來實現(xiàn)振動衰減,消除影響電子顯微鏡正常工作的安裝場地的細微振動,滿足電子顯微鏡廠商提供的允許振動值。 技術(shù)參數(shù):
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