電子光學(xué)
? 高性能電子光學(xué)鏡筒，雙陽(yáng)極熱發(fā)射電子槍
? 固定式物鏡光闌，使用方便
?45°錐度物鏡極靴，及“穿過(guò)透鏡”的壓差真空系統(tǒng)
? 加速電壓: 200 V - 30 kV
? 束流:2 μA并連續(xù)可調(diào)
? 放大倍數(shù): 13 x –1,000,000 x
分辨率
? 高真空
-30 kV下3.0 nm (SE)
-30 kV下4.0 nm (BSE) *
-3 kV下8.0 nm (SE)
? 高真空下減速模式*
-3 kV下7.0 nm *
? 低真空
-30 kV下3.0 nm (SE)
-30 kV下4.0 nm (BSE)
-3 kV下10 nm (SE)
檢測(cè)器
?E-T二次電子探頭
? 大視場(chǎng)低真空氣體二次電子探頭(LFD)
? 高靈敏度、低電壓固體背散射探頭*
? 樣品室紅外CCD相機(jī)*
? 四分固體背散射探頭*
? 閃爍體型背散射探頭/CLD*
?vCD (低電壓高襯度探頭)*
? 電子束流檢測(cè)器*
? 分析型氣體背散射探頭(GAD)*
?Nav-Cam™ – 光學(xué)相機(jī)彩色成像，用于樣品導(dǎo)航*
? 陰極熒光探測(cè)器*
? 能譜*
? 波譜*
?EBSD*
安裝要求
(更多的數(shù)據(jù)請(qǐng)參考“預(yù)安裝手冊(cè)”)
? 電源: 電壓230 V (+ 6 %, - 10 %),
頻率50 or 60 Hz (+/- 1 %)
? 耗電量: 電鏡基本系統(tǒng)< 3.0="">
? 接地: < 0.1="">
? 場(chǎng)地環(huán)境: 工作溫度15 °C - 25 °C；
? 相對(duì)濕度
< 80="" %="">
< 100="">
< 300="" nt="">
? 門(mén)寬: 90 cm
? 重量: 主機(jī)重量約450 kg
? 干燥氮?dú)?推薦使用): 0.7 - 0.8 bar,
放氣時(shí)流速10 l/min
? 噪音: < 68="" dbc="">
? 振動(dòng)(需場(chǎng)地測(cè)試確定)
? 減振臺(tái)可選
節(jié)能措施
?Energy Star認(rèn)證的顯示器和工作站
? 無(wú)需冷卻水和空壓機(jī)
簡(jiǎn)便易用的低真空掃描電鏡及時(shí)、準(zhǔn)確地得到答案
研究各種各樣的材料，并進(jìn)行結(jié)構(gòu)和成份表征，是目前對(duì)掃描電鏡的主流應(yīng)用要求。簡(jiǎn)便易用的Inspect™ S50是為這些研究量身定做的，具有較強(qiáng)的靈活性和通用性。Inspect S50能提供各種數(shù)據(jù)：包括表面像、成份像并結(jié)合元素分析結(jié)果；這些數(shù)據(jù)可用于確定材料的性質(zhì)和成份構(gòu)成。
當(dāng)今人們利用掃描電鏡研究的材料早已超出單純的金屬和經(jīng)導(dǎo)電噴涂處理過(guò)的樣品，Inspect S50能用來(lái)分析導(dǎo)電和不導(dǎo)電的樣品。它對(duì)典型材料，從金屬、斷口、拋光截面到不導(dǎo)電的軟物質(zhì)等的表征十分方便和快速，能為研究者節(jié)省大量時(shí)間。其用戶(hù)界面簡(jiǎn)捷、易學(xué)，但仍具有足夠的靈活性以應(yīng)對(duì)挑戰(zhàn)。例如：標(biāo)準(zhǔn)的樣品導(dǎo)航功能，包括鼠標(biāo)雙擊樣品臺(tái)移動(dòng)和拖曳放大居中功能；SmartSCAN™，一種智能掃描技術(shù)，能更容易地降低信號(hào)噪音，提供更好的數(shù)據(jù)。它是電鏡專(zhuān)家設(shè)計(jì)來(lái)給電鏡專(zhuān)家使用的儀器，性能遠(yuǎn)不止“簡(jiǎn)便易用”。
Inspect S50可裝備很多新的特色技術(shù)，用于進(jìn)行一些特殊的分析或研究目的。比如如電子束減速，一個(gè)可選功能，將鎢燈絲掃描電鏡的低加速電壓性能提高到一個(gè)全新的水平。Nav-Cam™ 彩色圖像導(dǎo)航器及新開(kāi)發(fā)的探測(cè)器也大大增加了其靈活性。更多數(shù)據(jù)、更多靈活性、更高效率，Inspect S50的簡(jiǎn)捷操作性能助您及時(shí)解決問(wèn)題，使您的投資更具價(jià)值。
主要優(yōu)點(diǎn)
? 直觀、簡(jiǎn)便易用的軟件，即使電鏡新手也能輕易上手
? 方便地分析導(dǎo)電和不導(dǎo)電樣品
? 降低樣品制備要求:低真空技術(shù)使得不導(dǎo)電樣品不經(jīng)導(dǎo)電處理即可直接成像和分析，樣品表面無(wú)電荷累積現(xiàn)象
? 的“穿過(guò)透鏡”的壓差真空系統(tǒng)，對(duì)導(dǎo)電和不導(dǎo)電樣品都可進(jìn)行準(zhǔn)確的EDS/EBSD分析，不管是在高真空模式或在低真空模式
? 穩(wěn)定的大束流(> 2 μA)確保快速、準(zhǔn)確的能譜及EBSD分析工作
? 對(duì)導(dǎo)電樣品，可選用減速模式得到表面和成份信息
真空系統(tǒng)
?1個(gè)70 l/s 渦輪分子泵, 1個(gè)機(jī)械泵
? 的“穿過(guò)透鏡”的壓差真空系統(tǒng)
? 電子束在氣體區(qū)域的行程：10 mm或2 mm
? 可升級(jí)成無(wú)油機(jī)械泵
? 樣品室真空度(高真空模式) < 6e-4="">
? 樣品室真空度(低真空模式) < 10="" to="" 270="">
? 典型換樣時(shí)間: 高真空模式≤150秒；
低真空及環(huán)境真空模式≤270秒(FEI標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試程序)
樣品室
? 左右內(nèi)徑284 mm
?10 mm分析工作距離
?8個(gè)探測(cè)器/ 附件接口
?EDS采集角: 35°
樣品臺(tái)
?X/Y = 50 mm
?Z = 50 mm (其中馬達(dá)驅(qū)動(dòng)25 mm)
? 手動(dòng)傾斜：15°- to + 75°
? 連續(xù)旋轉(zhuǎn)360°
? 重復(fù)精度: 2 μm (X/Y方向)
? 全對(duì)中樣品臺(tái)
樣品座
? 多樣品座
? 單樣品座
? 適用于硅片或其它特殊要求的樣品座*
系統(tǒng)控制
? 基于Windows® XP 操作系統(tǒng)的32位圖形用戶(hù)界面，
? 鍵盤(pán)，光電鼠標(biāo)
?1個(gè)/2個(gè)* 19寸液晶顯示器, 分辨率1280 x 1024
? 軟件驅(qū)動(dòng)的輸入/輸出共享器*
? 游戲操縱桿*
? 多功能控制板*
圖像處理器
?SmartSCAN™ 智能掃描技術(shù)
? 4096 x 3536像素
? 圖像文件格式：TIFF (8 or 16 bit), BMP or JPEG
?256 幀平均或積分
系統(tǒng)選項(xiàng)
? 減速模式
? 多功能控制板
? 支持計(jì)算機(jī)(包括第二個(gè)19寸液晶顯示器)
? 游戲操縱桿
? 樣品電流探測(cè)
? 遠(yuǎn)程診斷
? 視頻打印機(jī)
? 樣品座套件
? 機(jī)械泵隔音罩
?7針或52針電氣接口
? 波譜儀接口
? 更換成無(wú)油機(jī)械泵套件
通用第三方附件
? 能譜儀
? 波譜儀
?EBSD
? 冷臺(tái)
? 陰極熒光譜儀
? 樣品電流探測(cè)器
? 納米機(jī)械手
?CAD導(dǎo)航
? 電子探針臺(tái)
軟件選項(xiàng)
? 遠(yuǎn)程控制/觀察軟件
? 圖像分析軟件
? 基于Web的數(shù)據(jù)庫(kù)軟件
? 高度分布/粗糙度測(cè)量軟件
支持文檔
? 在線幫助
? 入門(mén)培訓(xùn)CD
?RAPID™(遠(yuǎn)程診斷軟件)
? 免費(fèi)連接到FEI用戶(hù)群在線資源庫(kù)
? 免費(fèi)加入FEI環(huán)境掃描用戶(hù)俱樂(lè)部
