LDLSTM高亮度寬帶光源
Energetiq光源是一款高亮度，高穩(wěn)定、長(zhǎng)壽命寬譜光源，采用革命性的光源技術(shù)——LDLS™激光驅(qū)動(dòng)光源技術(shù)，使用連續(xù)激光直接加熱氙離子至需要的溫度，以產(chǎn)生高效的寬頻譜光。具有高可靠性，高性能，高亮度，長(zhǎng)壽命等特點(diǎn)。譜線覆蓋從深紫外（DUV）、可見(jiàn)光和近紅外光區(qū)（NIR），波長(zhǎng)范圍從 170nm到2100nm 以上，壽命長(zhǎng)達(dá)10,000小時(shí)以上。無(wú)電極的 LDLS 技術(shù)可以產(chǎn)生少量，高亮度的等離子體，以獲取高效的光源，并且延長(zhǎng)了燈的使用壽命。
技術(shù)原理：
特點(diǎn)&優(yōu)勢(shì)：
? 高光譜寬度：170-2100 nm全波段覆蓋
? 高亮度：>10mW/mm2/nm/Sr，30W氘燈的100倍以上
? 極小發(fā)光點(diǎn)：約100μm
? 的功率和空間穩(wěn)定性
? 長(zhǎng)壽命：> 9000 hrs（10%衰減）
典型應(yīng)用：
? 替代氙燈、氘燈和鹵鎢燈等
? UV-Vis-NIR光譜
? 單色光源
? 膜厚、形貌測(cè)量
? 光纖/光學(xué)材料和器件測(cè)試
? 環(huán)境、化學(xué)、材料分析
? 缺陷檢測(cè)
? 高級(jí)顯微成像/照明
1、基礎(chǔ)系列
產(chǎn)品型號(hào) | EQ-99X
| EQ-99XFC
| EQ-1500
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主要特征 | 光譜范圍170nm-2100nm（光纖190-2100nm），連續(xù)輸出，高功率穩(wěn)定性<0.1%，燈泡壽命長(zhǎng)達(dá)9000hrs以上 | ||
輸出功率 | 0.5W | ~80mW(from 230μmfiber，0.22NA) | 1.5W |
亮度 | ~10mW/mm2/nm/Sr | ~60 μW/mm2/nm/Sr（230μm fiber，0.22NA） | ~30 mW/mm2/nm/Sr |
光學(xué)接口 | 0.47 NA | 0.22 NA，F(xiàn)C/SMA接頭 | 0.50 NA |
冷卻系統(tǒng) | 空冷 | 空冷 | 水冷 |
應(yīng)用 | UV-Vis-IR光譜 光學(xué)測(cè)量 材料、器件測(cè)量和表征 單色光源 分析儀器 高級(jí)系統(tǒng)照明 | UV-Vis-IR光譜 光纖光學(xué) 材料、器件測(cè)量和表征 單色光源 薄膜測(cè)量 | 單色光源 PEEM/LEEM UV-VIS-IR光譜分析 材料、器件測(cè)試和表征 |
2、OEM系列
OEM系列光源是Energetiq在原有的LDLS™技術(shù)基礎(chǔ)上進(jìn)行了改進(jìn)，將驅(qū)動(dòng)激光器和發(fā)光點(diǎn)集成到同一個(gè)燈室里，使得光源更加緊湊，更加穩(wěn)定。同時(shí)，OEM系列光源具有雙向輸出窗口設(shè)計(jì)，用戶可以根據(jù)需要選擇單向輸出和雙向輸出。
產(chǎn)品型號(hào) | EQ-9
| EQ-77
| EQ-400
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主要特征 | 光譜范圍170nm-2100nm，連續(xù)輸出，燈泡壽命長(zhǎng)達(dá)9000hrs以上，高功率穩(wěn)定性<0.1%，單/雙光學(xué)出口 | ||
輸出功率 | 0.5 W | 2.2 W | 15 W |
亮度 | ~10mW/mm2/nm/Sr | >50mW/mm2.sr.nm | >100mW/mm2.sr.nm |
光學(xué)接口 | 0.47 NA | 0.5 NA | 0.50 NA |
冷卻系統(tǒng) | 空冷 | 水冷 | 水冷 |
應(yīng)用 | UV-Vis-IR光譜 光學(xué)測(cè)量 材料、器件測(cè)量和表征 單色光源 分析儀器 高級(jí)系統(tǒng)照明 | UV-Vis-IR光譜 PEEM/LEEM 材料、器件測(cè)量和表征 單色光源 薄膜測(cè)量 | 半導(dǎo)體檢測(cè) 缺陷檢測(cè) 材料、器件測(cè)試和表征 高級(jí)光學(xué)照明 薄膜測(cè)量 |
