ALPAO高速變形鏡
變形鏡，又稱變形反射鏡（DM），主要運(yùn)用于各種自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)之中，主要用于校正波前畸變，它由很多驅(qū)動單元組合而成，每個驅(qū)動單元都有自己獨(dú)立的控制器，在外加電壓控制下，變形鏡的鏡面可以產(chǎn)生需要的形變量，從而對波前像差進(jìn)行調(diào)制。變形鏡是自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)中的重要部件之一。
ALPAO是從法國JosephFourier大學(xué)獨(dú)立出來的公司，主要開發(fā)電磁場驅(qū)動的MEMS驅(qū)動器，到820 個驅(qū)動器，行程達(dá)80µm，表面質(zhì)量<7nmRMS，采用目前世界上較*的拋光工藝，表面粗糙度<1nm，變形鏡的響應(yīng)時間只有500us，帶寬可以達(dá)到2KHz。
ALPAO公司可變形鏡
ALPAO公司MEMS變形鏡結(jié)構(gòu)緊湊、相較于波士頓、Imagine等其他的微變形反射鏡具有波前調(diào)制量大低磁滯性<1%，高線性度>97%。相比于MEMS靜電變形鏡來說，電磁驅(qū)動變形鏡相較于壓電變形鏡的優(yōu)點(diǎn)在于其巨大的變形量，更高的調(diào)制精度。
主要特點(diǎn)：
調(diào)制量大：波前相位調(diào)制幅度超過80μm
穩(wěn)定度高：+/-1% over 30s，<10nm RMS over hours
· 高動態(tài)范圍 ：響應(yīng)時間小于500μs
· 鍍膜質(zhì)量高： R>97% @500nm- 2.0µm
表面平整：表面粗糙度 <15? RMS
亞納米步長精度
低磁滯：磁滯誤差小于1%
單通道相位調(diào)制幅度>5.0 µm PTV
法國ALPAO高速變形鏡主要型號相關(guān)參數(shù)如下：
型 號 參 數(shù) | DM69 | DM88 | DM97-08 | DM97-15 | DM241 | DM277 | DM468 | DM820 |
單通道口徑 | 1.5mm | 2.5mm | 0.8mm | 1.5mm | 2.5mm | 1.5mm | ||
通道數(shù) | 69 | 88 | 97 | 97 | 241 | 277 | 468 | 820 |
孔徑 | 10.5mm | 20.0mm | 7.2mm | 13.5mm | 37.5mm | 24.5mm | 33.0mm | 45.0mm |
閉環(huán)系統(tǒng)鏡面平整度 | 7.0nm RMS (no print through effects) | |||||||
形變量（PTV) | 60µm | 40µm | 80µm | 60µm | 40µm | 15µm | ||
聚焦/散光形變量（PTV） | 40µm | 30µm | 40µm | 40µm | 30µm | 10µm | ||
3x3形變量（PTV) | >25µm | >10µm | ||||||
響應(yīng)時間（+/-10%) | 800μs | 1.6ms | 800μs | 1.6ms | 500μs | |||
帶寬 | >750HZ | >400HZ | >750HZ | >400HZ | >2000HZ | |||
45°相位延遲頻率 | > 500 Hz | > 300 Hz | > 500 Hz | > 300 Hz | > 1500 Hz | |||
回程誤差 | <2% | |||||||
非線性誤差 | <3% | |||||||
涂層 | 保護(hù)銀（或其他高反射率涂層） | |||||||
操作溫度 | -10~35℃ | |||||||
