原理說(shuō)明 |
混色光是由眾多不同波長(zhǎng)光線組成的,我們稱之為光譜。所有不同波長(zhǎng)的可見(jiàn)光重疊在一起,形成白光。人類肉眼可見(jiàn)光的波長(zhǎng)范圍從400nm (藍(lán)光)到700nm (紅光)。通過(guò)透鏡,不同顏色的光不會(huì)聚焦到同一個(gè)點(diǎn)上。這種現(xiàn)象稱為色差。
,自然界的日光屬白光一種,白光不是最純潔的光,而是許多單色光組成的。光在不同介質(zhì)中傳播可能會(huì)有角度偏差的現(xiàn)象產(chǎn)生,而實(shí)際的白光照射下不同介質(zhì)將有很多單線光的折射。光學(xué)材料(透鏡)對(duì)于不同單色光的折射率是不同的,也就是折射角度不同波長(zhǎng)愈短折射率愈大,波長(zhǎng)愈長(zhǎng)折射率愈?。ㄟ@也是不同望遠(yuǎn)鏡所謂的色差不同的原因),同一薄透鏡對(duì)不同單色光,每一種單色光都有不同的焦距,按色光的波長(zhǎng)由短到長(zhǎng),它們的像點(diǎn)離開(kāi)透鏡由近到遠(yuǎn)地排列在光軸上(不同的單色光的波長(zhǎng)是不同的)這樣成像就產(chǎn)生了所謂色差透鏡錯(cuò)誤。色差透鏡錯(cuò)誤使成像產(chǎn)生色斑或暈環(huán)。在攝影器材中,應(yīng)通過(guò)特殊處理,盡量消減色差透鏡錯(cuò)誤導(dǎo)致的成像問(wèn)題。常用的消除方法有雙膠合系統(tǒng)與雙分離系統(tǒng)。
一面單透鏡的色差造成對(duì)不同波長(zhǎng)的色光產(chǎn)生了不同的焦距
對(duì)于消色差雙合透鏡而言,可見(jiàn)光的波長(zhǎng)近似具有相等的焦距
具有抵消色散屬性的衍射光學(xué)器件可以用來(lái)矯正色差
而光譜共焦測(cè)量方法恰恰利用這種物理現(xiàn)象的特點(diǎn)。通過(guò)使用特殊透鏡,延長(zhǎng)不同顏色光的焦點(diǎn)光暈范圍,形成特殊放大色差,使其根據(jù)不同的被測(cè)物體到透鏡的距離,會(huì)對(duì)應(yīng)一個(gè)精確波長(zhǎng)的光聚焦到被測(cè)物體上。通過(guò)測(cè)量反射光的波長(zhǎng),就可以得到被測(cè)物體到透鏡的精確距離。這一過(guò)程與攝影器材通過(guò)各種方法消減色差的過(guò)程正好相反。
為了得到上述特殊的色差,需要在傳感器探頭內(nèi)使用若干特殊透鏡,用來(lái)根據(jù)所需量程將光線分解。最后使用一個(gè)凸透鏡,將傳感器探頭射出的光線聚攏在一條軸線上,形成所謂的焦點(diǎn)軸線。
白色光通過(guò)多組透鏡后產(chǎn)生明顯的色差。然后打到樣品上,只有在樣品焦點(diǎn)位置的光才會(huì)反射回來(lái)。反射回來(lái)的光經(jīng)過(guò)光纖傳導(dǎo)到光譜儀進(jìn)行光譜分析,分析出當(dāng)前的光譜,即可對(duì)應(yīng)計(jì)算出焦點(diǎn)的距離。
技術(shù)特點(diǎn) |
1.超高分辨率
納米級(jí)分辨率源于上述經(jīng)過(guò)特殊處理得到的加長(zhǎng)光譜范圍。由于采用檢測(cè)焦點(diǎn)的顏色,得到距離信息,光譜共焦傳感器可以采用非常小的測(cè)量光斑,從而允許測(cè)量非常小的被測(cè)物體。這也意味著,即使被測(cè)表面有非常輕微的劃痕,也逃不過(guò)光譜共焦傳感器的眼睛。
2.信號(hào)更加穩(wěn)定
使用光線波長(zhǎng)計(jì)算距離,反射光產(chǎn)生的信號(hào)波峰強(qiáng)度并不在測(cè)量依據(jù)之內(nèi)。反射光的光強(qiáng)不會(huì)影響測(cè)量結(jié)果。 這意味著,無(wú)論有多少反射光從被測(cè)物體反射回來(lái),測(cè)量的距離結(jié)果可能是不變的。所以信號(hào)會(huì)更加穩(wěn)定。因此,采用捷揚(yáng)公司的光譜共焦傳感器,即使被測(cè)物體是強(qiáng)吸光材料,如黑色橡膠;或者是透明材料,如玻璃或者液體,都可以進(jìn)行正??煽康臏y(cè)量。
3.可測(cè)量小孔
由于光譜共焦傳感器的光路非常緊湊和集中,使其非常適合測(cè)量鉆孔結(jié)構(gòu)。而其他測(cè)量方式,如激光三角反射式測(cè)量,對(duì)于小孔往往無(wú)能為力,因?yàn)樾】仔纬傻年幱皶?huì)遮擋反射光的光路,無(wú)法進(jìn)行測(cè)量。針對(duì)這種小孔測(cè)量任務(wù),德國(guó)米銥公司推出了IFS 2402微型光譜共焦傳感器探頭。這種探頭擁有僅4mm的探頭直徑,可以探入小孔內(nèi)部進(jìn)行測(cè)量。
4.可測(cè)量透明材料
與其他測(cè)量方法不同,光譜共焦傳感器在測(cè)量這種物體時(shí),僅需要一支探頭就可以完成測(cè)量。測(cè)量被測(cè)物體前端面和后端面的反射光,從而得到層厚信息。
5.測(cè)量更加安全可靠
由于測(cè)量只使用白光,無(wú)需額外附加激光安全措施。由于探頭本身不含有任何電路,傳感器探頭還可以被用于有防爆要求的環(huán)境或者有電磁干擾要求的環(huán)境。而控制器可以被放置于安全距離以外,允許最長(zhǎng)50m的光纖連接探頭和控制器。
使用用途 |
1.高度檢測(cè)
通過(guò)不同焦點(diǎn)所對(duì)應(yīng)不同位置,測(cè)量出樣品的高度尺寸。
2.位移檢測(cè)
通過(guò)不同焦點(diǎn)對(duì)應(yīng)不同的距離,計(jì)算出樣品的位移。
3.透明材料厚度檢測(cè)
通過(guò)透明物體兩個(gè)表面對(duì)應(yīng)不同的焦點(diǎn),算出透明物體的厚度。
4.不透明材料厚度檢測(cè)
使用兩個(gè)距離傳感器,測(cè)量?jī)蓚€(gè)表面的距離,與標(biāo)準(zhǔn)片對(duì)比后,算出樣品的厚度。
規(guī)格參數(shù) |
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| DSP-010 | DSP-030 | DSP-100 | ||
線性量程(mm) | 0.3 | 1 | 3 | 10 | ||
精度(um) | 0.3 | 1 | 3 | 10 | ||
量程起點(diǎn)(近似值)(mm) | 6 | 10 | 20 | 50 | ||
焦點(diǎn)光斑直徑(μm) | 小于17 | 小于17 | 小于22 | 小于22 | ||
出光口徑(mm) | 10.4 | 14.4 | 22 | 38.2 | ||
分辨率(譜峰半高寬)(nm) | 3 | 3.2 | 3.5 | 5 | ||
鏡頭外形直徑(mm) | 27 | 27 | 34 | 54 | ||
鏡頭主體長(zhǎng)度(mm) | 109 | 105 | 88.7 | 112.8 | ||
鏡頭總長(zhǎng)(mm) | 154 | 150 | 145 | 185 |
注意事項(xiàng) |
1.需要禁止在光路上存在遮擋物或小顆粒,這會(huì)影響測(cè)量精度,甚至使測(cè)量變得不可完成。
2.由于采用的是光學(xué)測(cè)量方法,探頭到被測(cè)物體的距離也有一定限制。