產(chǎn)品特點(diǎn)
1. 1.NewView™ 9000 系列的 3D 光學(xué)表面輪廓儀可以提供多功能的非接觸式光學(xué)表面形貌測(cè)量分析。其測(cè)量都無損、迅速，且不需要樣品制備。分析軟件描繪和定量分析表面粗糙度、臺(tái)階高度、關(guān)鍵尺寸和其它形貌特征。
2. 對(duì)于各種表面結(jié)構(gòu)，放大倍率及零件高度，可以實(shí)現(xiàn)小于 1 納米到 20000 微米范圍的測(cè)量，可測(cè)量各種材質(zhì)表面，包括光滑面、粗糙面、平面、斜坡面和臺(tái)階面等。
3. NewView 9000 系列提供三種配置。帶 3 個(gè)目鏡切換器的NewView 9000 系統(tǒng)。
技術(shù)參數(shù)
垂直掃描范圍 150um 壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)，20mm 擴(kuò)展掃描 重復(fù)性 ＜0.08nm RMS 重復(fù)性 0.008nm 橫向分辨
空間采樣0.34um(100X 物鏡)
0.04um(100x 物鏡，2 倍zoom)掃描速度 171um/s 臺(tái)階測(cè)量
線性度重復(fù)性 ≤ 0.1%
小于 20nm 或者 0.1%
測(cè)試軟件
典型的 MX 數(shù)據(jù)分析界面
產(chǎn)品應(yīng)用
1.測(cè)量次納米表面形貌
2.機(jī)械加工中的應(yīng)用
測(cè)試實(shí)例
1.表面粗糙度測(cè)量
2.更快的拼接大尺寸樣品平面度
3.區(qū)域分析
4.微觀表面結(jié)構(gòu)分析
5.劃痕分析
產(chǎn)品資料下載
產(chǎn)品介紹-Newview9000
美國(guó)ZYGO公司三維非接觸式表面輪廓儀-NexviewNX2
ZYGO-Verifire_MST_Brochure
ZYGO-NexviewNX2,NewView9000_ObjectiveChart
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MST+633nm介紹-4inch
