A.用途及特點(diǎn)：
◆該儀器是一款高精度的綜合測(cè)量?jī)x器，包括表面形貌測(cè)量系統(tǒng)和表面輪廓測(cè)量系統(tǒng)。廣泛適用于機(jī)械加工行業(yè)對(duì)工件的表面輪廓進(jìn)行測(cè)量。既可以測(cè)量工件的距離、角度、圓弧半徑、以及點(diǎn)、線、圓弧等幾何要素的相互位置等形位參數(shù)，又可以測(cè)量表面粗糙度、波紋度、原始輪廓參數(shù)。
◆該儀器采用電感式粗糙度傳感器和光柵式形狀傳感器，測(cè)量精度高、適用范圍廣、性能優(yōu)良、操作簡(jiǎn)便。是生產(chǎn)車間和計(jì)量部門對(duì)零件形狀誤差和表面微觀輪廓進(jìn)行高精度檢測(cè)的有效手段。
◆驅(qū)動(dòng)箱采用高精度的直線導(dǎo)軌和進(jìn)口光柵傳感器，為高精度輪廓測(cè)量提供了的水平基準(zhǔn)。驅(qū)動(dòng)箱可機(jī)動(dòng)升降，傳感器可自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)零位，方便測(cè)量。
◆軟件界面友好，測(cè)量評(píng)定功能強(qiáng)大，與現(xiàn)行標(biāo)準(zhǔn)相符，數(shù)據(jù)和圖像處理方便，測(cè)試報(bào)告簡(jiǎn)單明了，清晰美觀。
B.主要技術(shù)指標(biāo)：
測(cè)量原理：
垂直方向：觸針法，電感式粗糙度傳感器、光柵式形狀傳感器；
水平方向：光柵傳感器；
驅(qū)動(dòng)箱水平測(cè)量范圍：120mm；
驅(qū)動(dòng)箱滑行速度：0.2，0.5，0.8，1.0 mm/s；
返回速度：1.5mm/s；
驅(qū)動(dòng)箱返回形式：手動(dòng)、自動(dòng)
驅(qū)動(dòng)箱升降：滾動(dòng)絲杠升降系統(tǒng)，機(jī)動(dòng)升降，自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)零位；
立柱垂直測(cè)量高度：280 mm；
工作臺(tái)結(jié)構(gòu)：460×720 mm大理石平臺(tái)；
輪廓測(cè)量系統(tǒng)：
測(cè)量范圍：垂直40mm，水平120mm；
測(cè)量精度：垂直±(2+|H|/5000)μm，水平4μm/100mm；
垂直分辨力：0.05μm；
水平分辨力：1μm；
測(cè)量參數(shù)：垂直距離、水平距離、兩直線夾角、圓弧半徑、圓心－直線距離、圓心－圓心距離、直線度、圓輪廓度等形位公差參數(shù)；
圖形放大倍率：無級(jí)連續(xù)放大；可至最小800倍，80000倍；
傳感器測(cè)桿長(zhǎng)：220 mm；
測(cè)針長(zhǎng)度：33 mm；
針尖角度：11°；
針尖半徑：20μm；
測(cè)力：0.02～0.06N；
傳感器滑行角度：上升角≤77°，下降角≤88°。
粗糙度測(cè)量系統(tǒng)：
測(cè)量范圍：垂直400μm（可擴(kuò)展至1200μm），水平120mm；
表面粗糙度示值誤差：≤±5%；
最小分辨力：垂直0.6nm，水平1μm；
取樣長(zhǎng)度：0.08，0.25，0.8，2.5，8mm；
評(píng)定長(zhǎng)度：N×k倍取樣長(zhǎng)度，k＝1，2，3，4，5；N為行程長(zhǎng)度內(nèi)任意整數(shù)倍。
粗糙度測(cè)量參數(shù)：Ra，Rc，Rp，Rv，Rz，Rq，Rsm，Rt，Rsk，Rku，Rdq，Rmr；
波紋度測(cè)量參數(shù)：Wa，Wc，Wp，Wv，Wz，Wq，Wsm，Wt，Wsk，Wku，Wdq，Wmr；
原始輪廓測(cè)量參數(shù)：Pa，Pc，Pp，Pv，Pz，Pq，Psm，Pt，Psk，Pku，Pdq，Pmr；
微觀輪廓測(cè)量參數(shù)：｜X2-X1|，｜Z2-Z1|；
圖像分析功能：支承率曲線、幅度分布曲線、輪廓峰密度等；
輪廓圖形垂直放大倍率：500000倍無級(jí)連續(xù)放大；
輪廓圖形水平放大倍率：50000倍無級(jí)連續(xù)放大；
傳感器測(cè)針：金剛石棱錐，錐角90°，針尖半徑：2μm。
儀器出廠精度指標(biāo)：
Ra值示值誤差：不大于±5%
Ra值測(cè)量重復(fù)性：不大于3%
Rsm值示值誤差：不大于±5%
虛假信號(hào)：有導(dǎo)頭傳感器虛假信號(hào)的Ra值不大于0.005μm
無導(dǎo)頭傳感器虛假信號(hào)的Ra值不大于0.025μm
測(cè)針垂直位移的線性誤差：不大于±(2+|H|/5000)μm，H——測(cè)針垂直位移值。
角度測(cè)量誤差：不大于±5′
圓弧半徑測(cè)量誤差：不大于±（10+0.3‰×R）μm，R——檢驗(yàn)用標(biāo)準(zhǔn)球標(biāo)稱半徑。
D.儀器外形尺寸與重量：
儀器凈重：260kg；儀器毛重：360kg；
儀器外型尺寸：1610mm×500mm×740mm
包裝外形尺寸：1590mm×1150mm×1065mm
