測(cè)頭型號(hào) | F1 | N1 | F10 | F400 | |
工作原理 | 磁感應(yīng) | 電渦流 | 磁感應(yīng) | 磁感應(yīng) | |
測(cè)量范圍(um) | 0-1250 | 0-1250 | 0~10000 | 0-400 | |
低限分辨力(um) | 0.1 | 0.1 | 1 | 0.1 | |
示值誤差 | 一點(diǎn)校準(zhǔn)(um) | ±[3%H+1] | ±[3%H+1.5] | ±(3%H+5) | ±[3%H+0.5] |
兩點(diǎn)校準(zhǔn)(um) | ±[(1~3)%H+1] | ±[(1~3)%H+1.5] | ±[(1~3)%H+5] | ±(1~3) %H+0.5 | |
測(cè)量條件 | *小曲率半徑(mm) | 凸1.5 | 3 | 10 | 1 |
基體*小面積的直徑(mm) | ф7 | ф5 | 40 | ф3 | |
*小臨界厚度(mm) | 0.5 | 0.3 | 2 | 0.2 |
注:H—測(cè)量厚度值
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