在集成電路特別是MOS電路的生產和開發(fā)研制中，MOS電容的C-V測試是極為重要的工藝過程監(jiān)控測試手段，通過C-V測試達到優(yōu)化生產過程中的工藝參數(shù)，提高IC成品率。
MOS（金屬－氧化物－半導體）結構的電容是外加偏置電壓的函數(shù)，MOS電容隨外加電壓變化的曲線稱之為C-V曲線（簡稱C－V特性）。C-V曲線與半導體的導電類型及其摻雜濃度、SiO2-Si系統(tǒng)中的電荷密度有密切的關系。 利用實際測量到的M
在集成電路特別是MOS電路的生產和開發(fā)研制中，MOS電容的C-V測試是極為重要的工藝過程監(jiān)控測試手段，通過C-V測試達到優(yōu)化生產過程中的工藝參數(shù)，提高IC成品率。 | ||||||||||||||||||||
| CV-5000型電容電壓特性測試儀是測試頻率為1MHz的智能化數(shù)字的電容測試儀器，既可用于測試半導體器件PN結的勢壘電容在不同偏壓下的電容量，也可進行Mos電容的外加電壓掃描測試，還可測試其它MIS電容。 | ||||||||||||||||||||
| 該電容電壓特性測試系統(tǒng)由主機和上位機（PC）組成，并在軟件控制下完成校準及測試等功能，同時顯示C-V電容電壓特性曲線。主機面板上的發(fā)光二極管指示儀器的工作狀態(tài)，用數(shù)碼管組成的顯示板，將被測元件的數(shù)值，小數(shù)點清晰地顯示出來。儀器有較高的分辨率，電容量是五位讀數(shù)，可分辮到0.001pF，偏置電壓分辨力為0.1V，漏電流分辨力為0.01uA。 | ||||||||||||||||||||
| 儀器配有專用CV-5000型測量座，接插元件靈活，方便可靠。 | ||||||||||||||||||||
| CV-5000型電容電壓特性測試儀軟件測試系統(tǒng)是一個運行在計算機上擁有友好測試界面的用戶程序，程序操作直觀易用。測試程序在計算機與CV-5000型電容電壓特性測試測試儀連接的狀態(tài)下，通過計算機的USB口實現(xiàn)通訊。 測試程序控制電容電壓特性測試測試儀進行測量并采集測試數(shù)據(jù)，把采集到的數(shù)據(jù)在計算機中加以分析，然后把測試數(shù)據(jù)以表格，圖形直觀地記錄、顯示出來。用戶可對采集到的數(shù)據(jù)在計算機中保存或者打印以備日后參考和查看，還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到Excel中，讓用戶對數(shù)據(jù)進行各種數(shù)據(jù)分析。 | ||||||||||||||||||||
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| 技 術 指 標 ： | ||||||||||||||||||||
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