技術(shù)參數(shù)
行程: 25mm
濾波器: 高斯(Gaussian)濾波器(ISO11562:1996)Rc濾波器
截止波長(zhǎng): 0.25,0.8,2.5
測(cè)量重復(fù)性: 4%
相對(duì)示值誤差: ±7%
測(cè)量長(zhǎng)度: λc ╳3、4、5、6、7
測(cè)量范圍: 640μm
分辨率 : 0.001μm
測(cè)量速度: 0.1mm/s,0.32mm/s,0.5mm/s
返回速度: 1mm/s(自動(dòng))
測(cè)量方式:傳感器移動(dòng)式
測(cè)量參數(shù):
Ra、Rz、Rt、Rp、Rpm、Rz(jis)、Rv、R3z、RS、RSm、RSk、Rk 、Wp、Wv